SC-2濃度計監(jiān)測儀 CS-152
SC-2濃度計監(jiān)測儀 CS-152高精度化學藥液濃度計專為半導體制造時清洗制程中所使用的SC-1溶液而設計。實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應性和小巧化，可用于監(jiān)測清除金屬離子時所使用的SC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)中的各成分濃度。依據(jù)濃度計的輸出而進行的反饋控制，可以確保SC-1溶液的濃度保持在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的藥液更換工作。由于測量周期短，可以精確地跟蹤濃度變化，小巧化設易于組裝到清洗裝置中。
特征
?監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。
實現(xiàn)了以大約3秒這樣短的測量周期，大幅提高了濃度的實時跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。
?通過采取全面的氣泡對策，可監(jiān)測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在zui低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。
?采用DC24V，實現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應等，采取緊急措施。
