光纖式藥液濃度計(jì) CS-100F1
HORIBA藥液濃度計(jì)光纖式藥液濃度計(jì) CS-100F1系列是針對(duì)在半導(dǎo)體制造中的清洗及蝕刻工藝中所使用的各種藥液進(jìn)行高精度濃度監(jiān)測(cè)的設(shè)備。
光纖式藥液濃度計(jì) CS-100F1通過(guò)利用光纖傳播光信號(hào)，把樣品單元直接組裝到清洗裝置配管上，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)在線(xiàn)測(cè)量。 同時(shí)，1臺(tái)單一的濃度計(jì)zui多可以測(cè)量4種藥液或量程，在單槽/單晶圓清洗系統(tǒng)中進(jìn)行單線(xiàn)監(jiān)測(cè)成為了可能。此外，測(cè)量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。
●利用1臺(tái)濃度計(jì)zui大可以監(jiān)測(cè)4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測(cè)。
●實(shí)時(shí)濃度監(jiān)測(cè)。測(cè)量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。
●監(jiān)測(cè)周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
●通過(guò)*分離電氣部分和測(cè)量部分以提高穩(wěn)定性。
●輕便小巧的設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間。
●通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良以提高產(chǎn)量。
光纖式藥液濃度計(jì) CS-100F1主要特點(diǎn)：
●利用1臺(tái)濃度計(jì)zui大可以監(jiān)測(cè)4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測(cè)。
1臺(tái)濃度計(jì)中zui多可存儲(chǔ)4種校正系數(shù)(藥液或量程)，可監(jiān)測(cè)單槽或單晶圓等批次清洗方式的清洗裝置1種以上藥液(或者不同的藥液配比)濃度。
●實(shí)時(shí)濃度監(jiān)測(cè)。測(cè)量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。 通過(guò)使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線(xiàn)檢測(cè)單元，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)的濃度監(jiān)測(cè)。為了強(qiáng)調(diào)穩(wěn)定性，也可使用檢測(cè)單元裝置型的濃度計(jì)，以進(jìn)行反饋控制?？梢员３衷谒幰簼舛戎档脑试S范圍內(nèi)，同時(shí)也可以避免不必要的藥液更換工作。
