企業(yè)概要

Company Profile

總部	堀場(chǎng)制作所 HORIBA, Ltd.
董事會(huì)成員	集團(tuán)會(huì)長(zhǎng)兼 CEO　堀場(chǎng) 厚
	副會(huì)長(zhǎng)兼集團(tuán) COO　齊藤壽一
	董事長(zhǎng)兼 COO　足立正之
創(chuàng)立	1945年 10月17日
成立	1953年 1月26日
總部	601-8510 京都市南區(qū)吉祥院宮之東町2番地
注冊(cè)資本	120.11 億日元 (截至2020年12月31日)
綜合凈銷售額	1870.8 億日元 (至2020年12月31日)　» 投資者相關(guān)頁(yè)面
員工數(shù)量	8,269 (截至2020年12月31日)
業(yè)務(wù)范圍	生產(chǎn)和銷售汽車排放測(cè)量系統(tǒng)、環(huán)境測(cè)量?jī)x器、種類齊全的科學(xué)分析儀、體外診斷分析儀和半導(dǎo)體行業(yè)使用的測(cè)量設(shè)備等。HORIBA還生產(chǎn)和銷售外圍測(cè)量與分析設(shè)備。此外，公司還可為實(shí)驗(yàn)室等機(jī)構(gòu)提供用于研發(fā)、生產(chǎn)和其他應(yīng)用的測(cè)量與分析設(shè)備
結(jié)算日	12月31日
上市	東京證券交易所第1部
日本分部	京都總部、滋賀、東京、宮城、櫪木、茨城、神奈川、靜岡、愛(ài)知、大阪、香川、廣島、福岡、熊本
海外分部	奧地利、巴西、加拿大、中國(guó)、法國(guó)、德國(guó)、印度、印度尼西亞、意大利、日本、韓國(guó)、波蘭、俄羅斯、新加坡、中國(guó)臺(tái)灣、泰國(guó)、英國(guó)、美國(guó)、越南

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在比利時(shí)、捷克、荷蘭、葡萄牙、俄羅斯、西班牙、瑞典和越南設(shè)立分公司
截至2020年12月31日

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

BHF濃度計(jì)監(jiān)測(cè)儀 CS-137高精度化學(xué)藥液濃度計(jì)專為半導(dǎo)體制造時(shí)清洗制程中所使用的BHF溶液而設(shè)計(jì)。實(shí)現(xiàn)了過(guò)去所沒(méi)有的高速響應(yīng)性和小巧化，可用于監(jiān)測(cè)硅氧化膜的蝕刻以及晶片表面的微粒清除作業(yè)時(shí)所使用的BHF溶液（NH4F/HF/H2O）中的各成分濃度。

BHF濃度計(jì)監(jiān)測(cè)儀 CS-137 產(chǎn)品詳情

BHF濃度計(jì)監(jiān)測(cè)儀 CS-137

BHF濃度計(jì)監(jiān)測(cè)儀 CS-137高精度化學(xué)藥液濃度計(jì)專為半導(dǎo)體制造時(shí)清洗制程中所使用的BHF溶液而設(shè)計(jì)。實(shí)現(xiàn)了過(guò)去所沒(méi)有的高速響應(yīng)性和小巧化，可用于監(jiān)測(cè)硅氧化膜的蝕刻以及晶片表面的微粒清除作業(yè)時(shí)所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分濃度。依據(jù)濃度計(jì)的輸出而進(jìn)行的反饋控制，可以確保BHF溶液的濃度保持在允許范圍內(nèi)，同時(shí)，還可以避免不必要的藥液更換工作。

特征

監(jiān)測(cè)周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。

實(shí)現(xiàn)了以大約3秒這樣短的測(cè)量周期，大幅提高了濃度的實(shí)時(shí)跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時(shí)反饋濃度信息。

小巧設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間

底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-327比較

通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過(guò)濃度計(jì)的信號(hào)輸出，進(jìn)行BHF溶液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。

全自動(dòng)監(jiān)測(cè)與簡(jiǎn)易控制

用戶只需引入BHF溶液即可。監(jiān)測(cè)是全自動(dòng)方式，因此開(kāi)始監(jiān)測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。另外由于參照光譜測(cè)量時(shí)使用的是空氣，也可以測(cè)量水的濃度，從而可以跟蹤水因溶液蒸發(fā)和附著到晶圓而應(yīng)起的濃度變化。這樣有利于二氧化硅的調(diào)整控制。

關(guān)鍵詞：濃度計(jì)

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
感應(yīng)式硝酸濃度計(jì)HNO3	面議	上海市	上海博取儀器有限公司	2024-11-26	在線詢價(jià)
光電型污泥濃度計(jì)	￥5000	青島市	青島聚創(chuàng)環(huán)保集團(tuán)有限公司	2024-06-18	在線詢價(jià)
感應(yīng)式工業(yè)酸堿濃度計(jì)	￥2000	上海市	上海博取儀器有限公司	2024-11-14	在線詢價(jià)
COSMOS SDM-73潤(rùn)滑油鐵粉濃度計(jì)	面議	上海市	上海正衡電子科技有限公司	2024-03-29	在線詢價(jià)
在線酸/堿濃度計(jì)	面議	無(wú)錫市	無(wú)錫東原儀表科技有限公司	2023-12-20	在線詢價(jià)
進(jìn)口在線濃度計(jì)	面議	上海市	上海朝輝壓力儀器有限公司	2021-02-23	在線詢價(jià)

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