數字式質量流量控制器SEC-N100 系列
數字式質量流量控制器SEC-N100 系列在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率,進而節(jié)約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發(fā)展,為*的制造工藝,包括半導體、光電和LED的制造提供服務,并將繼續(xù)開發(fā)新的產品來滿足客戶的需求。在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率,進而節(jié)約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發(fā)展,為*的制造工藝,包括半導體、光電和LED的制造提供服務,并將繼續(xù)開發(fā)新的產品來滿足客戶的需求。
特征:高精度(設定點為基準)MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高,各種工藝氣體的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統(tǒng)進行校驗。
整個流量控制范圍內都可實現高響應速度
1秒高速響應搭載了開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”,對于所有設置點它可以實現1秒內的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時,可變PID將根據當下的設定點不斷變化,其PID參數也將隨之被優(yōu)化。
SEC-N102 系列:數字式信號傳輸,RS485 F-NET協(xié)議,模擬式信號傳輸,?0~5VDC
SEC-N104 系列:DeviceNet 信號傳輸,遵照ODVA標準
SEC-N106 系列:PROFIBUS 信號傳輸,模擬式信號傳輸,?0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA