詳細(xì)摘要: 本裝置由公司和武漢工程大學(xué)聯(lián)合研制,由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔等部分組成
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杭州大華儀器制造有限公司
詳細(xì)摘要: 本裝置由公司和武漢工程大學(xué)聯(lián)合研制,由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔等部分組成
產(chǎn)品型號(hào):所在地:杭州市更新時(shí)間:2024-04-03 在線留言詳細(xì)摘要: 裝置將13.560MHz射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈,用電感耦合方式激勵(lì)氣體,使其放電產(chǎn)生等離子體.這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點(diǎn),并可以獲得純凈...
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