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杭州大華儀器制造有限公司


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DHRP-1 電感耦合射頻等離子體裝置

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

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更新時間：2024-04-03 15:54:21瀏覽次數(shù)：143次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：312條

所在地區(qū)：浙江杭州市

產(chǎn)品簡介

裝置將13.560MHz射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈,用電感耦合方式激勵氣體,使其放電產(chǎn)生等離子體.這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點,并可以獲得純凈的等離子體.裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用

詳細介紹

裝置將 13.560MHz 射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈 , 用電感耦合方式激勵氣體 , 使其放電產(chǎn)生等離子體 . 這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點 , 并可以獲得純凈的等離子體 . 裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用。

實驗內(nèi)容

1、等離子體消毒滅菌實驗 , 如大腸桿菌 (8099)、 (ATCC6538)；

2、等離子體材料表面改性實驗 , 如紙張親水性、紙張接觸角；

3、等離子體材料表面清洗實驗；

4、等離子體聚合實驗。

主要技術(shù)參數(shù)

1、等離子體腔體體積：φ140mm×（H）155mm；

2、射頻功率： 0 ～ 500W；頻率：13.560MH Z ；

3、工作氣壓： 20 ～ 200Pa（建議工作在 100 Pa 以下）；

4、反應(yīng)腔本底真空： ≤ 5Pa；

5、反應(yīng)腔極限真空： 1×10 -1 Pa；

6、等離子體電子溫度： 1 ～ 8Ev；

7、流量控制器： 0 ～ 1000sccm；

8、工作電壓： AC220V±5% 50Hz；

9、整機功率： ≤ 1.5KW；

10、整機重量： 約 100Kg；

11、外形尺寸： 長 650× 寬 610× 高 1000mm。


關(guān)鍵詞：流量控制器

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