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行業(yè)產(chǎn)品

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杭州大華儀器制造有限公司


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DH2008 系列微波 CVD 薄膜制備裝置

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

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更新時(shí)間：2024-04-03 15:57:57瀏覽次數(shù)：114次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：312條

所在地區(qū)：浙江杭州市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本裝置由公司和武漢工程大學(xué)聯(lián)合研制，由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔等部分組成

詳細(xì)介紹

本裝置由公司和武漢工程大學(xué)聯(lián)合研制，由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔等部分組成。適合大學(xué)近現(xiàn)代物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域進(jìn)行微波 CVD 原理與方法的教學(xué)、研究，金剛石與類(lèi)金剛石薄膜制備實(shí)驗(yàn)及科學(xué)研究，以及用于生長(zhǎng)碳納米管、氮化硅、碳化硅等超硬膜，具有生長(zhǎng)速度快、操作簡(jiǎn)便、性?xún)r(jià)比高等優(yōu)點(diǎn)。同時(shí)可完成等離子體刻蝕加工實(shí)驗(yàn)、微波等離子體表面改性等實(shí)驗(yàn)。

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技術(shù)參數(shù)

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