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01-13芯明天三維θx, θy偏轉/Z向升降壓電偏轉系統(tǒng)
芯明天三維壓電偏轉系統(tǒng)是由二維θx,θy運動壓電偏轉鏡和一維Z向直線運動壓電納米定位臺組合而成,θx,θy軸偏轉角度可達43mrad/軸,Z向直線行程可達500μm,內部集成高精度傳感器,采用柔性鉸鏈設計、無機械摩擦,分辨率高,適用于高精度大行程的掃描及定位使用。產(chǎn)品運動示意圖應用?光學/光束穩(wěn)定?激光掃描與光束偏轉?圖像處理與穩(wěn)定?光學捕獲?激光調諧?光過濾/光開關?高精度位置調整高分辨率、高穩(wěn)定性該系統(tǒng)體積小巧,結構緊湊,內部裝配高可靠性壓電促動器,集成在復雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導向2020
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