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封裝式壓電陶瓷促動器集成高可靠性、疊堆式、低壓/高壓PZT壓電陶瓷,外部由柱形金屬外殼保護。適當(dāng)?shù)膬?nèi)部機械預(yù)載力可適用于高負載、高動態(tài)應(yīng)用。它非常適于集成到定制型運動設(shè)備,提供納米級分辨率,行程可長達260微米,微秒級響應(yīng)時間,且外形殼體非常緊湊。
封裝式壓電陶瓷促動器的大出力特點,使其非常適于機床、主動振動絕緣或自適應(yīng)力學(xué)等;小體積、高諧振頻率的特點又使其非常適于掃描顯微、激光調(diào)諧、光束偏轉(zhuǎn)、膜片鉗或顯微光刻等應(yīng)用。
封裝壓電陶瓷促動器可分為開環(huán)(無定位反饋傳感器)和閉環(huán)(集成定位反饋傳感器)版本。開環(huán)下,它的分辨率是無限制的,主要受控制設(shè)備的噪聲限制,而閉環(huán)版本,會解決壓電陶瓷本身的遲滯和蠕變問題,大幅改善其重復(fù)性和穩(wěn)定性。
所謂環(huán)形封裝壓電促動器即中心具有通孔的壓電陶瓷促動器,該通孔可用于通光,也可用于其他特殊結(jié)構(gòu)等。環(huán)形封裝壓電陶瓷配有鏡片轉(zhuǎn)接帽,以方便鏡片固定安裝。
以芯明天HPSt150/14-10/55VS22環(huán)形封裝壓電促動器為例,它的中心通孔為φ9mm,詳細參數(shù)如下。
型號:HPSt150/14-10/55VS22
標(biāo)稱行程:47μm@150V
剛度:50N/μm
推/拉力:3000/250N
靜電容量:11μF
諧振頻率:9kHz
長度L:71mm(不含轉(zhuǎn)接頂端)
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