壓電平移臺,納米定位臺,壓電陶瓷控制器|驅(qū)動器,機械封裝壓電陶瓷技術(shù)文章|技術(shù)資料第（15）頁-哈爾濱芯明天科技有限公司

2020
04-26

如何解決壓電平臺行程小的問題？什么是壓電千分尺、壓電宏微復(fù)合平臺？
對于打算利用壓電平臺進行高精度調(diào)節(jié)的一些用戶，在了解到壓電平臺的納米級高精度時，時間是一種“求之心切”的心態(tài)，想立刻將它集成到自己的系統(tǒng)里，然而在得知壓電平臺的微米級運動范圍時又“望而卻步”。針對這種想用而又卻步的使用者，芯明天公司專門設(shè)計了壓電宏微復(fù)合平臺，這種平臺既得到了壓電平臺的納米級高精度，又擁有了幾十毫米甚至米級的運動范圍！注：分辨率的數(shù)值越低，分辨率越高。壓電宏微復(fù)合平臺組成介紹壓電宏微復(fù)合平臺是將壓電平臺與手調(diào)或其他電動平移臺相結(jié)合，且該結(jié)合不會損失壓電平臺的高分辨率。利用手調(diào)平移
2020
04-20

壓電位移臺簡介！
以P11型號為例，簡介壓電位移臺。P11系列壓電位移臺包含多種型號，1至3維運動版本可選，行程由100μm至300μm可選。從外觀上，P11系列具有兩種外形，兩種外形的長寬相同，都為40×40mm，只因行程大小不同或維度不同，相應(yīng)的外形的高度有所差別，分22mm和36.5mm兩種。P11系列壓電位移臺的單軸運動版本，行程可高達300μm，二維或三維版本標準行程為100μm/軸。它是采用機構(gòu)放大的原理，將內(nèi)部壓電陶瓷驅(qū)動源產(chǎn)生的位移進行放大輸出，位移放大后，承載能力相應(yīng)減小，但P11三維版本的承載
2020
04-20

納米光刻中的壓電掃描臺
納米光刻是一種全新的納米圖形復(fù)制方法，實質(zhì)是將傳統(tǒng)的模具復(fù)型原理應(yīng)用到微觀制造領(lǐng)域。首先計算機將BMP圖轉(zhuǎn)化成灰度圖，然后再通過二維掃描臺，帶動鍍膜鏡片對讀取的圖像信息進行優(yōu)化，同時控制激光器及掃描臺，完成圖像的納米定位加工。納米光刻技術(shù)是制作納米結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵，具有廣闊的應(yīng)用前景。利用芯明天P12系列XY二維掃描臺，可帶動鍍膜鏡片對讀取的圖像信息進行優(yōu)化，同時控制激光器及掃描臺，二者配合完成圖像的納米精度加工。P12.XY100二維壓電掃描臺P12.XY100為二維直線掃描臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷
2020
04-12

可別小看了壓電掃描臺的響應(yīng)速度
壓電掃描臺的響應(yīng)速度十分迅速，利用壓電陶瓷的形變驅(qū)動，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向，采用硅高精度位移傳感器，并利用超低電子噪聲的控制器使位移平臺擁有緊湊的體積、亞微米的分辨率及超低底噪。被廣泛的應(yīng)用于超分辨率顯微鏡，光學(xué)捕獲和原子力顯微鏡等領(lǐng)域。壓電掃描臺專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計的二維掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)XY軸187.5μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用?？帐綁弘娖脚_是指平臺臺面有透
2020
04-11

壓電微動平臺應(yīng)用于光學(xué)穩(wěn)像技術(shù)！
光學(xué)穩(wěn)像的原理就是利用穩(wěn)定機構(gòu)對光學(xué)儀器中的鏡片或感光部件進行調(diào)整，來補償在受到外部擾動的條件下光學(xué)儀器的光線偏轉(zhuǎn)，達到穩(wěn)定成像的目的，使得觀察的目標成像更清晰。光學(xué)穩(wěn)像技術(shù)對穩(wěn)像有著顯著的作用，因此成為一種常用的實時光路補償方法，對減弱或消除外界的顫振有著突出效果，并且被廣泛應(yīng)用于軍用、民用監(jiān)測、攝像設(shè)備當中。與機械和電子穩(wěn)像不同，光學(xué)穩(wěn)像技術(shù)是通過實時改變光軸的變化，消除外界抖動等對成像的影響，并且其驅(qū)動機構(gòu)體積小巧，控制簡單，幾乎不受外界環(huán)境影響，可以實現(xiàn)小型化、高精度、低成本等目的，因此
2020
04-11

壓電陶瓷與柔性鉸鏈相結(jié)合的應(yīng)用
壓電陶瓷具有高可靠性、高分辨率、高剛度、大出力等特點，是精密運動與定位的理想驅(qū)動元件。柔性鉸鏈機械結(jié)構(gòu)具有運動平穩(wěn)、無摩擦、無空回、高精度等特點，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的精度運動與定位系統(tǒng)。同時柔性鉸鏈機構(gòu)還可以提供適當?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高系統(tǒng)的使用壽命。以下是一些壓電陶瓷驅(qū)動、柔性鉸鏈機構(gòu)傳動相結(jié)合的典型例子。高精密壓電納米定位臺壓電納米定位臺采用壓電陶瓷驅(qū)動、柔性鉸鏈機構(gòu)進行位移放大的解決方案，可實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動，具有體積小、無摩擦
2020
04-07

256路壓電變形鏡控制器-E82.C256K
256路壓電變形鏡控制器，也稱為256路壓電變形鏡驅(qū)動電源，型號為E82.C256K，它是專為驅(qū)動壓電變形鏡而研發(fā)設(shè)計，就驅(qū)動的壓電變形鏡的類型不同，可驅(qū)動的變形鏡個數(shù)也不相同。例如，使用256路壓電變形鏡控制器（E82.C256K）驅(qū)動分立鏡面式壓電變形鏡，如下圖所示，驅(qū)動僅直線運動的活塞式分立鏡面的壓電變形鏡，可同時驅(qū)動256個分立鏡面；而驅(qū)動直線及二維偏轉(zhuǎn)的活塞、傾斜式分立鏡面的壓電變形鏡，則至少可同時驅(qū)動85個分立鏡面。壓電變形鏡的主要應(yīng)用為自適應(yīng)光學(xué)，變形鏡是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中常見的一種
2020
04-07

芯明天壓電掃描臺應(yīng)用于紅外熱成像掃描
紅外熱成像掃描技術(shù)是利用探測器、光學(xué)成像物鏡和掃描系統(tǒng)接受被測目標的紅外輻射能量分布圖形反映到紅外探測器的光敏元上，在光學(xué)系統(tǒng)和紅外探測器之間，掃描機構(gòu)對被測物體的紅外熱像進行掃描，并聚焦在單元或分光探測器上，由探測器將紅外輻射能轉(zhuǎn)換成電信號，經(jīng)放大處理、轉(zhuǎn)換或標準視頻信號通過電視屏或監(jiān)測器顯示紅外熱像圖。芯明天N62壓電掃描臺以其高頻率、高分辨率等特點應(yīng)用于紅外熱像儀中，大大提高了熱像儀成像的分辨率。平臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，中心通孔孔徑為26mm，可以實現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程，產(chǎn)品體積
2020
04-02

壓電納米定位臺與光纖3D檢測技術(shù)的聯(lián)用
壓電納米定位臺具有移動面，是通過帶有柔性鉸鏈的機械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進行輸出，分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu)。以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)式、放大機構(gòu)式。運動范圍可達500μm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著主要作用。近年來，由于光通信技術(shù)飛速發(fā)展，光纖連接器作為光通信基本的光源器件，所以對其質(zhì)量及可
2020
03-29

XD602大行程壓電納米定位臺，應(yīng)用于精密定位
XD602系列壓電納米定位臺是XYZ三維運動壓電平臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，具有分辨率高、行程大等特點，行程范圍可達200μm/軸，廣泛應(yīng)用于精密定位、微操作等領(lǐng)域。產(chǎn)品運動示意圖應(yīng)用納米定位精密定位微操作/微加工大行程、高可靠性、高穩(wěn)定性XD602為壓電陶瓷驅(qū)動、高可靠性壓電納米定位臺，可以實現(xiàn)每軸200μm的位移行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計具有無摩擦、導(dǎo)向精度高等特點。閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），配備在驅(qū)動機構(gòu)的合適位置，它可向控制器反饋高帶
2020
03-29

壓電激勵與主動控制|壓電促動器應(yīng)用于振動激勵與主動振動控制！
壓電促動器既可應(yīng)用于振動激勵，又適用于主動振動控制。對于長期關(guān)注芯明天公司公眾號的朋友，想必已對壓電促動器有了非常詳細的了解。壓電促動器是一種產(chǎn)生直線微運動的促動器，它的位移量由幾微米到幾百微米間。根據(jù)不同使用場合的不同要求，又分為高壓0~1000V（或500V）驅(qū)動、低壓0~150V驅(qū)動，外形又可分為柱形、環(huán)形，又可定制風冷型、特殊引腳、抗扭力型等，種類多樣。壓電促動器產(chǎn)生的作用力與微位移可引起形變與結(jié)構(gòu)的振動。就振動應(yīng)用而言，簡述下壓電促動器在振動領(lǐng)域中的應(yīng)用，兩個小部分：振動激勵與主動振動
2020
03-20

小體積USB壓電陶瓷控制器
工業(yè)式E63.C1K為小體積單通道開環(huán)低動態(tài)壓電陶瓷控制器，USB上位機軟件控制及供電。產(chǎn)品體積僅優(yōu)盤大小，便于集成電路板控制器，是開環(huán)小體積壓電控制器的不錯選擇。同時，連接控制方式簡單，只需連接電腦插入USB接口，通過上位機軟件輸出0~150V電壓，即可控制壓電陶瓷等產(chǎn)品。通過USB接口直接進行供電，簡單方便，無需要再額外增加外部供電接口及外部供電設(shè)備。1驅(qū)動原理2負載階躍時間3技術(shù)參數(shù)4可控制產(chǎn)品E63壓電陶瓷控制器也非常適合驅(qū)動壓電陶瓷片、壓電疊堆陶瓷、開環(huán)封裝壓電陶瓷、開環(huán)納米定位臺等。
2020
03-20

中空式激光合束壓電偏擺臺
P54系列是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。特點?θx,θy偏擺運動?開環(huán)/閉環(huán)可選擇?80×80mm大通孔?分辨率高?外形薄?適于加速度/角速度傳感器標定θx,θy軸偏擺應(yīng)用實例P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用于軍事激光武器等領(lǐng)域。閉環(huán)傳感精度高P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)采用有限元分析優(yōu)化，使角度偏移達到小，無空回、無摩擦。采用壓電陶瓷驅(qū)
2020
03-19

壓電控制器前面板功能介紹
壓電控制器可以根據(jù)結(jié)構(gòu)形式主要分為模塊化式、集成式、工業(yè)式、板卡式。壓電控制器前面板功能介紹1．電源上電指示燈(綠色)可通過觀察該指示燈來確認放大器是否處于通電狀態(tài)，常亮表示通電，熄滅表示斷電。2．過流、短路報警指示燈+（紅色）例如一通道當輸出端輸出正電壓發(fā)生過流或短路時，"﹢"向部分的指示燈被點亮。3．過流、短路報警指示燈-（紅色）例如一通道當輸出端輸出負電壓發(fā)生過流或短路時，"-"向部分的指示燈被點亮。壓電控制器為工業(yè)應(yīng)用設(shè)計而設(shè)計開發(fā)的小型集成化系統(tǒng)。PCS21系列控制器系列配有傳感器控制
2020
03-19

納米定位臺技術(shù)確保優(yōu)異的納米級定位性能
納米定位臺是為需要非常高精度的大的光學(xué)鏡片和成像系統(tǒng)而開發(fā)的。使用能夠了精密的滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)確保了位移平臺高精度性能和嚴格的軌跡控制。也適合OEM使用，它具有較低拋面和較小尺寸，采用模塊化設(shè)計，用戶可堆疊使用創(chuàng)建多軸多部件系統(tǒng)。這款使用了非接觸式直接驅(qū)動技術(shù)，提供堅固，精確，高速的定位，滿足高頻率大工作量的需要。使用了先進的無鐵直線電機直接確定技術(shù)，確保*異的納米級定位性能。這款納米定位臺提供了高速度，高精度，高分辨率，高性能的表現(xiàn)。它與傳統(tǒng)的絲杠驅(qū)動或壓電驅(qū)動相比，具有更大的工作效率和吞吐量。納
2020
03-16

小體積一維壓電旋轉(zhuǎn)臺
P21壓電旋轉(zhuǎn)臺為一維θz旋轉(zhuǎn)臺，產(chǎn)品體積小巧，旋轉(zhuǎn)角度可達到7.5mrad，承載能力達0.1kg，可帶動鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運動。產(chǎn)品運動示意圖小體積、高分辨率、高精度P21一維旋轉(zhuǎn)臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實現(xiàn)7.5mrad的旋轉(zhuǎn)，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，臺體采用柔性鉸鏈機構(gòu)，無摩擦、無回差，可以實現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作
2020
03-16

高動態(tài)壓電陶瓷促動器
高壓柱形壓電陶瓷促動器是驅(qū)動電壓為1000V，帶有預(yù)載力柱形機械封裝壓電陶瓷?？沙惺芤欢ǖ睦Γ瑑?nèi)置大出力壓電陶瓷，出力大，可達50000N，主要用于大負載的動態(tài)應(yīng)用。特性?1000V驅(qū)動?位移可達260μm?承載能力可達70000N?靜電容量低?參數(shù)可定制?開環(huán)/閉環(huán)可選?外徑?18mm，?25mm，?35mm，?45mm應(yīng)用沖擊波產(chǎn)生、穩(wěn)定、測試和加速度傳感器、主動減振、燃油噴射、主動發(fā)動機安裝以及各種定位任務(wù)需要高負載和/或加速度等。出力大高壓柱形促動器的出力與橫截面積成正比，外徑越大，出
2020
03-11

芯明天小體積壓電納米運動系統(tǒng)
芯明天小體積壓電納米運動系統(tǒng)包含壓電納米定位臺及壓電陶瓷控制器，系列產(chǎn)品除體積小、重量輕外，還具有運動控制精度高、響應(yīng)速度快等特點，更便于集成到工業(yè)設(shè)備中，是各精密工業(yè)及航空航天等應(yīng)用的良好選擇。P11系列壓電納米定位P11采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置壓電陶瓷作為驅(qū)動源，可以實現(xiàn)1~3維100μm的精密運動。產(chǎn)品體積小巧，X/Z軸運動版本尺寸僅為40×40×22mm，分辨率可達到納米量級，穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。XD102系列壓電掃描臺XD102具有兩個版本，分別為二維XY向運動、
2020
03-11

快速轉(zhuǎn)向壓電偏轉(zhuǎn)鏡！
P33壓電偏轉(zhuǎn)鏡是具有快速響應(yīng)且體積緊湊等特點的偏轉(zhuǎn)平臺，提供頂端面的高精度角度運動，與其他執(zhí)行器相比，柔性鉸鏈導(dǎo)向的壓電偏轉(zhuǎn)平臺可提供更高的加速度，使階躍響應(yīng)時間在亞毫秒范圍。閉環(huán)與開環(huán)版本具有6個不同的偏轉(zhuǎn)范圍，大可達25mrad的光束偏轉(zhuǎn)。底部固定與腰部固定特點?一維θx或二維θx、θy偏轉(zhuǎn)?大偏轉(zhuǎn)范圍12.5mrad?亞毫秒響應(yīng)時間?閉環(huán)定位精度高?溫度穩(wěn)定性高高動態(tài)、閉環(huán)版本精度高在機械結(jié)構(gòu)的合適位置采用測量的應(yīng)變傳感器來得到高穩(wěn)定性及定位精度，他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反
2020
03-01

壓電納米定位臺應(yīng)用領(lǐng)域
壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)精密運動的壓電平臺。具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度。壓電納米定位臺在各精密運動及定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。P66系列壓電納米定位臺P66系列是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，行程可達60μm，分辨率可達0.7nm。非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、光纖端面檢測等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。P63系列壓電納米定位臺P63系列內(nèi)部采用直驅(qū)機構(gòu)，體積小巧且定

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