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E09系列PZT傳感控制模塊是給各類PZT或微 動(dòng)工作臺(tái)等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器提供高精準(zhǔn)、 高穩(wěn)定性和高可靠性的激勵(lì)信號(hào),并檢測(cè)和處理 PZT或微動(dòng)工作臺(tái)等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器信 號(hào),并將該傳感器信號(hào)通過內(nèi)部的算法電路完成伺 服控制。E09PZT傳感控制模塊不是一個(gè)獨(dú)立的設(shè) 備,需集成在E00/E01機(jī)箱內(nèi)工作。
型號(hào) | E09.S1 | E09.S3 | E09.L1 | E09.L3 | E09.C1 |
功能 | PZT 傳感控制模塊 | ||||
通道數(shù) | 1 | 3 | 1 | 3 | 1 |
傳感器類型 | SGS | SGS |
|
| CAP |
伺服特性 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 |
傳感器接口 | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.116.CLL |
傳感器輸出接口 | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC |
電壓輸出范圍(V) | 0 至 10 | ||||
工作溫度范圍(℃) | 0 至 50 |
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