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壓電陶瓷致動器做為相關(guān)應(yīng)用技術(shù)時，通常要求運(yùn)動幾納米或更高的分辨率，亞毫米或微米級行程范圍的應(yīng)用在線性運(yùn)動中并不少見。為了說明這一點(diǎn)，下面是一些行業(yè)和應(yīng)用的例子，在這些行業(yè)和應(yīng)用中，壓電陶瓷致動器通常是優(yōu)秀解決方案。

微升和納升分配

當(dāng)需要分配微升或納升體積時，它需要精確的運(yùn)動來控制分配，由壓電陶瓷致動器促動隔膜泵或閥門是一種常見的解決方案。通過給壓電陶瓷施加電壓，改變其位移的大小和速率，從而達(dá)到微升或納升分配的目的。壓電致動器的位移決定分配體積，致動器的工作頻率控制流量，壓電陶瓷致動器具有分辨率高、體積小易于集成、功耗低等優(yōu)點(diǎn)。

微定位和納米定位

在顯微鏡、診斷和高精度制造應(yīng)用中，通常需要納米級的分辨率。例如，導(dǎo)光板加工需要將加工刀頭定位在距離工件只有幾微米的距離，在高頻率和亞納米分辨率的范圍內(nèi)進(jìn)行加工運(yùn)動。壓電陶瓷致動器是為數(shù)不多的能夠滿足這些要求的運(yùn)動裝置之一，其高諧振頻率為控制回路提供了穩(wěn)定性。

減震抑振

壓電堆疊致動器可以輸出幾千牛頓的力，可以用于精密工作臺或其他振動敏感設(shè)備的主動減振，使其成為理想的減振裝置。例如，可以在機(jī)床中集成壓電陶瓷致動器，以在機(jī)床的控制回路中產(chǎn)生反向運(yùn)動，減輕振動，從而提高加工精度和工件質(zhì)量。