A100-AFM裝備了閉環(huán)樣品定位系統(tǒng)。
它保證了定位的精度在10納米（這比市場(chǎng)上的閉環(huán)原子力顯微鏡的性能好10倍）。
這些突出的特性，再配以APE研究的*的軟件工具，使得這款儀器適用于納米光刻。
A100-AFM SGS 配備了彎曲掃描鏡臺(tái)，這保證了高平面度使得用戶可以進(jìn)行大范圍的測(cè)量（可以達(dá)到100微米）。
APE研發(fā)了原子力顯微鏡的附加工具，這可以用于一些具體的測(cè)量模式（如EFM（靜電力顯微鏡），MFM（磁力顯微鏡），Liquid cell（液體池））
我們還和意大利研究院合作研發(fā)其他工具以滿足用戶可能提出的要求。
A100-SGS AFM
A100-SGS SPM（掃描探針顯微鏡） 鏡臺(tái)
掃描鏡臺(tái)具有包含張力測(cè)量傳感器的獨(dú)立定位系統(tǒng)
掃描器技術(shù)資料：
X-Y掃描范圍：
100*100微米（高電壓模式）；
10*10微米（低電壓模式）
高電壓模式分辨率：閉環(huán)：2nm，開(kāi)環(huán)：0.2nm
閉環(huán)線性度：0.1%
Z掃描范圍：10微米（高電壓模式）；
1微米（低電壓模式）；
分辨率：0.16納米（高電壓模式），
0.02納米（低電壓模式）。
AFM Head 適用于接觸模式，非接觸模式，半接觸模式和橫向力模式
AFM Head 具有工業(yè)級(jí)的懸臂支架保持器，該保持器可以移動(dòng)（很容易在懸臂上安裝和拆卸），也很容易固定在懸臂上。頭部還具有裝備了激光和光電二極管傳感器的前置放大器。
SPMCU2-PI
SPM 控制單元
SPM控制單元和計(jì)算機(jī)（配別有多輸入輸出主板）驅(qū)動(dòng)掃描器，數(shù)據(jù)采集和采樣運(yùn)動(dòng)
采樣距離的末端由超低噪聲的模擬反饋控制，該模擬反饋由計(jì)算機(jī)數(shù)字化驅(qū)動(dòng)。
該系統(tǒng)的硬件時(shí)鐘是高速的和高精度的
HVA3-PI Unit
高電壓放大器
HAV是一種高電壓放大器模塊可以驅(qū)動(dòng)A-100 SGS 掃描鏡臺(tái)
計(jì)算機(jī)和數(shù)據(jù)采集板
WindowsXP、Vista 操作系統(tǒng)；奔騰處理器或酷睿2，1G/2GDDR2 SDRAM內(nèi)存，160G硬盤(pán)，DVD光驅(qū)，鍵盤(pán)和鼠標(biāo)，19寸液晶顯示器，采集板和接口。
采集軟件
軟件運(yùn)行是基于窗口的，為了儀器控制和數(shù)據(jù)采集，還支持多窗口操作。軟件具有簡(jiǎn)易的濾波器可以實(shí)時(shí)分析并獲取圖像。軟件控制了儀器的所有參數(shù)。
APE研究的儀器裝備了圖像測(cè)量數(shù)據(jù)分析軟件的基本模塊，另外14項(xiàng)可選的功能也可以獨(dú)立的獲得。
輔助
光刻工具
隧道掃描顯微鏡工具
ＭＦＭ（磁力顯微鏡）工具
ＥＦＭ（電場(chǎng)力顯微鏡）工具
ＣＡＦＭ（導(dǎo)電原子力顯微鏡）工具
液體池
隔音箱
桌臺(tái)
其他可用的模塊
