產(chǎn)品介紹:
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達(dá)臺的全自動型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換,激光對中,測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺可輕松實現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。
產(chǎn)品特點:
1. 自動化功能
高度集成自動化功能追求高效率檢測
降低檢測中的人為操作誤差
4英寸自動馬達(dá)臺
自動更換懸臂功能
2. 可靠性
排除機(jī)械原因造成的誤差
- 采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產(chǎn)生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是,用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了研發(fā)的水平掃描器,可實現(xiàn)不受圓弧運動影響的準(zhǔn)確測試。
大范圍水平掃描