基本功能 | 1，測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù) 2，實(shí)現(xiàn)薄膜均勻性檢測 3，實(shí)現(xiàn)反射、投射以及顏色測量 |
產(chǎn)品特點(diǎn) | l 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫； l 簡便、易行的可視化測試界面，可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù)； l 快捷、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的參數(shù)測試； l 支持多功能配件集成以及定制； l 支持不同水平的用戶控制模式； l 支持多功能模擬計(jì)算等等。 |
系統(tǒng)配置 | l 型號(hào)：SR300 l 探測器： 2048像素的CCD線陣列 l 光源：高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?/span> l 光傳送方式：光纖 l 臺(tái)架平臺(tái)：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量，200mmx200mm的大小 l 軟件： TFProbe 2.2版本的軟件 l 通訊接口：USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連 l 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率 l 電腦硬件要求：P3以上、zui低50 MB的空間 l 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A l 保修：一年的整機(jī)及零備件保修 |
規(guī)格 | l 波長范圍：400nm到1100 nm l 光斑尺寸：500μm至5mm l 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm l 基板尺寸：zui多可至50毫米厚 l l 測量時(shí)間：zui快2毫秒 l 精確度*：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較） l 重復(fù)性誤差*：小于1 ? |
可選配件項(xiàng) | l 用于傳遞和吸收測量的傳動(dòng)夾具（SR300RT) ?? l zui低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP300) l 在多個(gè)位置下，多個(gè)通道用于同時(shí)測量 (SR300xX) l 在超過200或300毫米晶片上所進(jìn)行的統(tǒng)一測繪（SRM300-200/300） |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域： l 玻璃鍍膜領(lǐng)域（LowE、太陽能…） l 半導(dǎo)體制造（PR，Oxide, Nitride…) l 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap...） l 醫(yī)學(xué)，生物薄膜及材料領(lǐng)域等 l 油墨，礦物學(xué)，顏料，調(diào)色劑等 l 醫(yī)藥，中間設(shè)備 l 光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. l 半導(dǎo)體化合物 l 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜 l 非晶體，納米材料和結(jié)晶硅 |
