系統(tǒng)配置:
• 型號:SR300
• 探測器: 2048像素的CCD線陣列
• 光源:高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?br />• 光傳送方式:光纖
• 臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量、200mmx200mm的大小
• 軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
• 通訊接口:USB的通訊接口與計算機(jī)相連
• 測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
• 電腦硬件要求:P3以上、zui低50 MB的空間
• 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
• 保修:一年的整機(jī)及零備件保修
規(guī)格:
• 波長范圍:400到1100 nm
• 光斑尺寸:500μm至5mm
• 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
• 基板尺寸:zui多可至50毫米厚
• 測量厚度范圍*:20nm?50μm
• 測量時間:zui快2毫秒
• 精確度*:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
• 重復(fù)性誤差*:小于1 ?
選項:
?用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR300RT) ??
??zui低可測量直徑為??µm大小的微光斑(MSP300)
???在多個位置下,多個通道用于同時測量(SR300xX)
???在超過???或???毫米晶片上所進(jìn)行的統(tǒng)一測繪(SRM300-300/200)
應(yīng)用:
•半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..)
•液晶顯示(ITO,PR,cell gap... ..)
•醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等
•油墨,礦物學(xué),顏料,墨粉
•醫(yī)藥,中間設(shè)備
•光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
•半導(dǎo)體化合物
•在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
•非晶體,納米材料和結(jié)晶硅