基本參數(shù):
- 主要特征:
臺(tái)式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊精致
低、中、高三檔可調(diào)節(jié)功率,zui大可為18W
設(shè)備輻射小,安全環(huán)保
- 外形尺寸:
8.5"H x 10"W x 8"D(215mm x 254mm x 203mm) - 重量:
6.0kg - 輸入電源:
220 V/50Hz - 輸入功率:
100 W - 功率檔:
低檔680V DC、10mA DC、6.8W
中檔700V DC、15mA DC、10.5W
高檔720V DC、25mA DC、18W - 常用工作氣體:
空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等 - 基本配置:
直徑3英寸,長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
zui大為18W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥 - 選配件:
石英等離子清洗艙
石英托盤(用于放置樣品)
氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM - 周邊設(shè)備:
基本型真空泵(PDC-VPE-2)
可選件:
- 選件一:氣體計(jì)量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡(jiǎn)介:
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計(jì)量混合器是一臺(tái)可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應(yīng)用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3、為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、溫差電偶真空度表測(cè)量艙內(nèi)壓力
6、適用氣體:空氣、氮?dú)?、氬氣或混合氣體。
7、尺寸:8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號(hào):PDC-FMG-2 - 選件二:真空泵
Harrick等離子清洗需要使用zui小1.4 m3/hr (0.83 cfm),壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供兩種可選型號(hào):
1、PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān)):1.5 mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開):23 mTorr
電機(jī)功率:(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān)): 7.5 mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開: 150 mTorr
電機(jī)功率(50/60 Hz): 373 W
重量: 27 lbs
尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D" - 選件三:石英等離子清洗艙及托盤