產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件，很容易操作
- *的深紫外光學(xué)及堅(jiān)固耐用的抗震設(shè)計(jì)，以確保系統(tǒng)能發(fā)揮出*的性能及zui長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間
- 基于陣列設(shè)計(jì)的探測(cè)器系統(tǒng)，以確?？焖贉y(cè)量
- 低價(jià)格，便攜式及靈巧的操作臺(tái)面設(shè)計(jì)
- 在很小的尺寸范圍內(nèi)，zui多可測(cè)量多達(dá)5層的薄膜厚度及折射率
- 在毫秒的時(shí)間內(nèi)，可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)
- 能夠用于實(shí)時(shí)或在線的監(jiān)控光譜、厚度及折射率
- 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫(kù)
- 對(duì)于每個(gè)被測(cè)薄膜樣品，用戶可以利用*的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫(kù)、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型（EMA）測(cè)量分析
- 系統(tǒng)集合了可視化、光譜測(cè)量、仿真、薄膜厚度測(cè)量等功能于一體
- 能夠應(yīng)用于不同類型、不同厚度（zui厚可測(cè)200mm）的基片測(cè)量
- 使用深紫外光測(cè)量的薄膜厚度zui低可至20 ?
- 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面
- *的成像軟件可用于諸如角度、距離、面積、粒子計(jì)數(shù)等尺寸測(cè)量
- 各種不同的選配件可滿足客戶各種特殊的應(yīng)用
系統(tǒng)配置：
- 型號(hào)：MSP300R
- 探測(cè)器：2048像素的CCD陣列
- 光源：直流穩(wěn)壓鹵素?zé)?/li>
- 光傳送方式：光纖
- 自動(dòng)的臺(tái)架平臺(tái)：特殊處理的鋁合金操作平臺(tái)，手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)范圍為75mm×55mm
- 物鏡有著長(zhǎng)焦點(diǎn)距離:4×，10×，50×
- 通訊接口：USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連
- 測(cè)量類型：反射/透射光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性參數(shù)
- 計(jì)算機(jī)硬件：英特兒酷睿2雙核處理器，200G硬盤、DVD刻錄機(jī)，19”LCD顯示器
- 電源：110–240V AC/50-60Hz，3A
- 尺寸：16’x16’x18’ （操作桌面設(shè)置）
- 重量：120磅總重
- 保修：一年的整機(jī)及零備件保修
基本參數(shù)：
- 波長(zhǎng)范圍：400nm到1000 nm
- 波長(zhǎng)分辨率: 1nm
- 光斑尺寸：100µm （4x）, 40µm （10x）, 8µm （50x）
- 樣品尺寸：標(biāo)準(zhǔn)150×150mm
- 基片尺寸：zui多可至20mm厚
- 測(cè)量厚度范圍: 10nm 到25 µm
- 測(cè)量時(shí)間：zui快2毫秒
- 精確度：優(yōu)于0.5％（通過(guò)使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）
- 重復(fù)性誤差：小于2 ?
