產(chǎn)品介紹:
- 反應艙:材料:鋁
有效尺寸:直徑230 x 深度250mm
容積:10.4升
艙門:裝有可視窗口
托盤:訂制
- 真空度測量:
皮拉尼真空計(利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的,而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導率有關) - 真空泵:
二級旋片式真空泵;3m3 每小時。 - 頻射發(fā)生器:
0~600w可調(diào),2.45GHZ發(fā)生器 - 控制系統(tǒng):
觸摸屏操作,PLC控制系統(tǒng)
PLC可實現(xiàn)下列功能:
1、自動控制反應過程;
? 2、根據(jù)處理材料設定不同的處理工藝流程;
? 3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標;
? 4、監(jiān)測所有的運行指標,保證在設定范圍之內(nèi);
? 5、 設定操作、維護密碼。 - 電源:
220V AC、50Hz、16A. - 反應氣體:
一個氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC);根據(jù)用戶需要,可擴展 - 氣體輸入:
直徑1/4英寸(0.645厘米)管道;輸入壓力:1Bar. - 安全性能:
急停開關;真空泵保護鎖;高溫保護鎖;CE安全認證。
用途:
小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
可選件:
- 頻射發(fā)生器:100KHZ, 13.56MHZ ,可訂制
- 可加裝15m3每小時的真空泵
- 根據(jù)需要,可訂制多個氣體輸入管道
- 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
- 根據(jù)客戶要求制作的托盤。
- 石英反應艙
- N2 Purge.