用途和特點:
XQ15-G3實用型激光平面干涉儀在保留XQ15-G1激光平面干涉儀的用途及特點的狀況下,更具實用性,可更廣泛適用于大批量生產單位的生產車間。檢驗車間的平面度、微小楔角測量,更適合于大平板生產流水線快速篩選的應用。
技術參數:
標準平面(A面),工作直徑D1=Φ146mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二標準平面(B面),工作直徑D2=Φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
準直系統-----------------工作直徑Φ146mm,焦距 f = 400mm
光源規(guī)格-----------------激光ZN18(He-Ne)
干涉室尺寸----------------530×270×150mm