大口徑激光干涉儀由4英寸激光干涉儀主機(jī)經(jīng)過擴(kuò)束為大口徑系統(tǒng),通常為雙通道,即4英寸測量通道和大口徑測量通道,具有多種高精度測量模式,如相位調(diào)制、波長調(diào)制、動(dòng)態(tài)測量等。
大口徑激光干涉儀系統(tǒng)是雙通道測量系統(tǒng),小口徑4"測量通道和大口徑測量通道均具有多種高精度測量模式,如相位調(diào)制、波長調(diào)制、動(dòng)態(tài)測量等。大口徑激光干涉儀從常規(guī)的4英寸口徑拓展到12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸和36英寸。 大口徑激光干涉儀包括
? 激光干涉儀主機(jī)(GPI? XP/D, VeriFire? XP/D, PE, AT+, MST 或波長調(diào)制主機(jī))
? MUX分光器(光束轉(zhuǎn)換器)
? 擴(kuò)束器(12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可選)
? 機(jī)械相位測量裝置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波長調(diào)制測量技術(shù)
? 參考光束-透射平板和參考平板是光學(xué)系統(tǒng)必需的附件
? 調(diào)整架-用于調(diào)整參考光束和測試光束的位置