雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術(shù)，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化從而影響測(cè)量結(jié)果，這是單頻干涉儀的一個(gè)根本弱點(diǎn)。在測(cè)試環(huán)境惡劣或測(cè)量距離較長(zhǎng)時(shí)，這一缺點(diǎn)十分突出，而雙頻激光干涉測(cè)量?jī)x正好克服了這一缺點(diǎn)。雙頻干涉儀使用雙頻激光，其干涉信號(hào)是一個(gè)頻率約為1.5-8 M H z的交流信號(hào)，當(dāng)可動(dòng)棱鏡移動(dòng)時(shí)，雙頻干涉儀的干涉信號(hào)只是使原有的交流信號(hào)頻率增加或減少了△f，結(jié)果依然是一個(gè)交流信號(hào)。這個(gè)交流信號(hào)頻率的改變?nèi)Q于可動(dòng)棱鏡位置的變化，不受直流光平和電平變化的影響，因此抗干擾能力強(qiáng)，適合在各種環(huán)境條件下開展檢測(cè)作業(yè)。

雙頻激光干涉測(cè)量?jī)x采用外差技術(shù)，對(duì)環(huán)境干擾不敏感，先天具有抗干擾性好，工作穩(wěn)定的特點(diǎn)，適合在車間生產(chǎn)環(huán)境中使用。本套雙頻激光干涉儀，基于清華大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室多年研發(fā)的核心技術(shù)，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。本套雙頻激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測(cè)，是高精度線性位移測(cè)量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)的高效率量測(cè)工具。

系統(tǒng)組成：

雙頻激光頭及附件

環(huán)境補(bǔ)償單元

Leice Measure測(cè)量軟件、Leice Analysis 分析軟件

線性位移測(cè)量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測(cè)量鏡組等）

光學(xué)調(diào)整附件

三腳架及其他測(cè)量附件

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

采用雙頻激光，測(cè)量精度高

緊湊設(shè)計(jì)，適合外出服務(wù)攜帶

抗干擾能力強(qiáng)，大型機(jī)床長(zhǎng)距離檢測(cè)時(shí)也能保證穩(wěn)定精準(zhǔn)

自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償，不同溫度、濕度、壓力環(huán)境中也能精確檢測(cè)

符合測(cè)校國家標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量分析軟件

自動(dòng)生成測(cè)量數(shù)據(jù)報(bào)表和誤差校正補(bǔ)償文件。

典型頻差7±0.5MHz，測(cè)速高達(dá)2m/s。