專為機(jī)床測(cè)校用戶開發(fā)通用型高精度激光干涉儀
采用單頻激光,雙縱模穩(wěn)頻技術(shù)
緊湊設(shè)計(jì),適合外出服務(wù)攜帶
自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償,不同溫度、濕度、壓力環(huán)境中也能精確檢測(cè)
直觀的測(cè)量及分析軟件,輕松完成各種復(fù)雜的機(jī)床檢測(cè)工作
單頻激光干涉儀采用單頻測(cè)量技術(shù),擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國(guó)外產(chǎn)品同等水平。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測(cè),是高精度線性位移測(cè)量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)的高效率量測(cè)工具。
系統(tǒng)組成:
單頻激光頭及附件
環(huán)境補(bǔ)償單元
Leice Measure測(cè)量軟件、Leice Analysis 分析軟件
線性位移測(cè)量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測(cè)量鏡組等)
光學(xué)調(diào)整附件
三腳架及其他測(cè)量附件
技術(shù)規(guī)格:
1、測(cè)量方式:?jiǎn)晤l
2、激光穩(wěn)頻精度:±0.05ppm
3.真空波長(zhǎng):632.99nm
4.激光功率:>0.5mW
5.激光光束直徑:6 mm
6.波長(zhǎng)補(bǔ)償精度:±0.5ppm
7.預(yù)熱時(shí)間:<>
8.測(cè)量長(zhǎng)度范圍:0-40m
9.測(cè)量精度:±0.5ppm*
10.精度范圍0℃-40℃
11.分辨率:1nm
12.測(cè)量速度:4m/s
13.系統(tǒng)測(cè)量能力:線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度
14.接口:內(nèi)置 USB 通訊端口,無(wú)需單獨(dú)接口