成本效益

● SENpro 是具成本效益的光譜橢偏儀，同時不影響測量性能。

可變?nèi)肷浣?/font>

● 光譜橢偏儀 SENpro 包括可變?nèi)肷浣堑慕嵌扔嫞?0°—90°，步進(jìn)值 5°，用于優(yōu)化橢偏測量。

步進(jìn)掃描分析器

● SENpro 具有步進(jìn)掃描分析器。在數(shù)據(jù)采集過程中，偏振器和補償器固定，以提供高的橢偏測量精度。

● 光譜橢偏儀 SENpro 具有操作簡單，測量速度快，能對不同入射角的橢偏測量數(shù)據(jù)進(jìn)行組合分析等特點。光譜范圍為 370 到 1050 nm。SENpro 的光譜范圍與精密的 SpectraRay/4 軟件相結(jié)合，可輕易地確定單層膜和復(fù)合層疊膜的厚度和折射率。

● 具有成本效益的桌面式 SENpro 包括可見光到近紅外橢偏儀光學(xué)，5° 步進(jìn)角度計，樣品臺、激光準(zhǔn)直器、光纖耦合穩(wěn)定光源和探測器單元。SENpro 配備了用于系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析的光譜橢偏儀軟件 SpectraRay/4 ，用于包括建模，擬合和報告輸出。即使對于初學(xué)者，該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計算機控制的用于均勻性測量的自動掃描。

● SENpro 專注于薄膜測量的速度和精度，不管是何種薄膜應(yīng)用。測量范圍從 1 nm 的薄層膜到 15 μm 的厚層膜。

● 對于各種各樣的應(yīng)用，SpectraRay/4 都提供了預(yù)定義的配方。