FA系列探針臺是專為失效分析實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的一款量測設(shè)備,具光學(xué)特性、激光特性,設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,系統(tǒng)性能優(yōu)異, 支持多功能升級,產(chǎn)品功能豐富齊全。
產(chǎn)品亮點(diǎn):FA系列手動(dòng)探針臺
- 支持加載針卡,提升點(diǎn)針測試效率
- 卡盤可升降調(diào)節(jié),便于樣品快速分離探針
- 標(biāo)配金相顯微鏡,達(dá)到1μm以上的Pad測試
- 顯微鏡氣控式升降調(diào)節(jié)
- 多波段激光應(yīng)用,快速切換更精準(zhǔn)切割
產(chǎn)品參數(shù):FA系列手動(dòng)探針臺
規(guī)格 | FA8 | FA8-SC | |
外形 | 960mm長*850mm寬*1500mm高 | 880mm長*860mm寬*1550mm高 | |
重量 | 約260KG | 約280KG | |
電力需求 | 220VC,50~60Hz | ||
樣品臺 | 尺寸 | 8英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | |
行程 | X-Y行程8*8英寸 | ||
移動(dòng)精度 | 1um | ||
樣品固定方式 | 真空吸附 | 真空吸附 | |
溫控范圍 | - | ﹣80~200℃ | |
快速拉出 | - | 有 | |
特殊運(yùn)用 | 電學(xué)獨(dú)立懸空,可作為背電極使用 | ||
針座平臺 | 規(guī)格 | U型平臺,最多可放置10個(gè)針座 | O型平臺,最多可放置12個(gè)針座 |
行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺可以快速升降,行程 6mm并帶自動(dòng)鎖定功能; | ||
光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm | X-Y軸行程1英寸*1英寸,Z軸:50.8mm |
放大倍數(shù) | 20~4000X | ||
鏡頭切換時(shí)操作 | 快速傾仰/氣動(dòng)升降 | ||
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | |
激光特性 | 波段 | 波長可選擇1064/532/355/266nm波段 | |
功率 | 輸出功率2.2mJ/pulse (可升級) | ||
微加工能力 | 可加工材質(zhì):Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF內(nèi)雜質(zhì)等 | ||
精度 | 最小可加工精度1*1um(配置100X鏡頭時(shí)) | ||
冷卻方式 | 可選擇風(fēng)冷激光或水冷激光 | ||
點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |
機(jī)械精度 | 2微米/0.7微米/0.1微米 | ||
漏電精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱時(shí)) | ||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 |
(*規(guī)格和設(shè)計(jì)如有更改,恕不另行通知。)