E系列是一款功能進階級探針臺，能實現(xiàn)1μm以上的電極Pad測試，可通過較低的成本升級更多的測試功能。
產(chǎn)品亮點
- 卡盤可升降調(diào)節(jié)，便于樣品快速分離探針
- 標配金相顯微鏡，達到1μm以上的Pad測試
- 可搭載激光器進行FA失效分析/激光切割
- 顯微鏡氣動式快速升降
- 便于更換顯微鏡和探針卡夾具
- POMater自適應(yīng)隔震底座
- 采用德國進口隔震材料，提高測試穩(wěn)定性
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | E4 | E6 | E8 | E12 | |
| 外形（長*寬*高/mm） | 680*670*760mm | 680*670*760mm | 750*670*800mm | 1030*800*850mm | |
| 重量（KG） | 約90kg | 約95kg | 約110kg | 約210kg | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||
| 卡盤 常溫標準 | 卡盤尺寸 | 4" | 6" | 8" | 12" |
| 樣品固定方式 | 環(huán)形及多孔真空吸附（可定制） | ||||
| 背電極測試功能 | 有，樣品臺電學獨立懸空 | ||||
| 卡盤材質(zhì) | 316#不銹鋼（可選黃銅鍍鎳or鍍金） | ||||
| 卡盤 移動平臺 | Theta行程 | 360°旋轉(zhuǎn)（粗調(diào)）；可旋轉(zhuǎn)微調(diào)，微調(diào)精度0.002° | |||
| 卡盤升降 | 卡盤臺可以上下快速升降5mm，微調(diào)升降行程6mm，精度1μm | ||||
| X-Y行程 | 100*100mm | 150*150mm | 200*200mm | 300*300mm | |
| 移動精度 | 10μm | ||||
| 卡盤快速拉出 | N/A | ||||
| 控制方式 | 小型旋鈕驅(qū)動 | ||||
| 針座平臺 | 外形尺寸 | 長550mm*寬405mm | 長720mm*寬405mm | 長980mm*寬480mm | |
| 卡盤到平臺距離 | 8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面）? | ||||
| 針座數(shù)量 | 最多可放6個針座 | 最多可放8個針座 | 最多可放10個針座 | ||
| 針座平臺升降 | N/A | ||||
| 針座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | ||||
| 光學特性 | 鏡頭規(guī)格 | 標配PSM-1000金相顯微鏡/可選（GX-6金相，體視，視頻）顯微鏡 | |||
| 放大倍數(shù) | 20-2000X | ||||
| CCD像素 | 3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字） | ||||
| 運動控制 | Z 軸移動行程 50.8 mm，同軸旋鈕調(diào)節(jié)，細調(diào)精度優(yōu)于1μm | ||||
| 顯微鏡行程 | 顯微鏡2英寸XY平移臺范圍內(nèi)移動 | ||||
| 顯微鏡移動精度 | 1μm | ||||
| 點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 機械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | ||||
| 漏電精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱時） | ||||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口 | ||||
（*規(guī)格和設(shè)計如有更改，恕不另行通知。）
