微聚焦加強型X射線裝置:可測試各類極微小的樣品,即使檢測面積為0.003mm2的樣品也可輕松、精準(zhǔn)檢測
變焦裝置及位置補償算法:可對各種異性凹槽進行檢測,凹槽深度測量范圍可達0-30mm
自主研發(fā)EFP算法:多層多元素、各種元素及有機物,甚至有同種元素在不同層也可精準(zhǔn)測量
微米級移動精度:高精密XY移動滑軌,實現(xiàn)多點位、多樣品的精準(zhǔn)位移和同時檢測,移動精度可達5um,輕松應(yīng)對極微小樣品檢測
的解譜技術(shù):減少能量相近元素的干擾,降低檢出限