XAD-200是一款全元素上照式熒光光譜儀,既保留了專(zhuān)用測(cè)厚儀檢測(cè)微小樣品和凹槽的膜厚性能,又可滿足RoHS有害元素檢測(cè)及成分分析,搭載全自動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)XYZ軸編程位移,實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守多點(diǎn)測(cè)量,測(cè)量軟件置入的EFP算法及解譜技術(shù),解決了諸多業(yè)界難題。被廣泛用于各類(lèi)產(chǎn)品的質(zhì)量管控、來(lái)料檢驗(yàn)和對(duì)生產(chǎn)工藝控制的測(cè)量使用.