將全反射技術(shù)應(yīng)用到X射線熒光分析中所開發(fā)的多導(dǎo)毛細(xì)管技術(shù),輕松應(yīng)對(duì)超小測(cè)量點(diǎn)薄涂層和極薄涂層的測(cè)量分析,在柔性電路板、芯片封裝環(huán)節(jié)、晶圓微區(qū)以及微小尺寸電感電阻的鍍層厚度和成分自動(dòng)測(cè)試分析中盡顯優(yōu)勢(shì)主要利用X射線全反射原理,從X射線管激發(fā)出來(lái)的X射線束在毛細(xì)玻璃管的內(nèi)壁以全反射的方式進(jìn)行傳輸,利用毛細(xì)玻璃管的彎曲來(lái)改變X射線的傳輸方向,從而實(shí)現(xiàn)X射線匯聚,同時(shí)將X射線的強(qiáng)度增加2~3個(gè)數(shù)量級(jí)。
普通X射線鍍層測(cè)厚儀結(jié)構(gòu):
多導(dǎo)毛細(xì)管X射線鍍層測(cè)厚儀光路結(jié)構(gòu):
測(cè)量精度更高:新開發(fā)的的光學(xué)器件和的多導(dǎo)毛細(xì)管技術(shù)可對(duì)超微小區(qū)域及納米級(jí)薄層高精度測(cè)量
超微小樣品檢測(cè):精確測(cè)試最小測(cè)量點(diǎn)直徑可達(dá)10µm,測(cè)量微點(diǎn)技術(shù)的者
測(cè)量效率高:高靈敏度、高解析度X熒光檢測(cè)系統(tǒng)搭配多導(dǎo)毛細(xì)管技術(shù),測(cè)量時(shí)間更短,能夠?qū)崿F(xiàn)普通機(jī)型幾倍的檢測(cè)量
適配性強(qiáng):適用于各類樣品尺寸的產(chǎn)品線,如600*600mm大型印刷電路板
操作體驗(yàn)佳:高精細(xì)樣品觀察圖像,微區(qū)小至納米級(jí)別的分辨率,實(shí)現(xiàn)更快速便捷的測(cè)試
自動(dòng)、智能:搭載可編程全自動(dòng)位移平臺(tái),無(wú)人值守、自動(dòng)檢測(cè)樣品同時(shí)搭載影像識(shí)別功能,自動(dòng)判定測(cè)試位置