>5微米運(yùn)動(dòng)范圍，高于納米級(jí)分辨率；
振蕩頻率>8K；
小于微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間(負(fù)載5g)；
現(xiàn)場(chǎng)掃描和步驟反應(yīng)化；
高穩(wěn)定性；
即插即用，低停機(jī)時(shí)間；
磁頭和硬盤(pán)測(cè)試；
干涉測(cè)量……
參數(shù) | 符號(hào) | 值 | 單位 | 備注 | ||||||
靜態(tài)參數(shù) |
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| 最小 | 標(biāo)準(zhǔn) |
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材質(zhì) |
| 鋁 |
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尺寸 |
| 23（長(zhǎng)）×16.5（寬）×7.6（高） | mm |
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*范圍 | dxp·max | 6.5 |
| μm |
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*比例因子 | bx1 |
| 1 |
| μm | ① | ||||
*比例因子誤差 | δbx1 |
| 小于0.1 | % | ||||||
共振頻率（空載） | f0·0 | 8000 |
| Hz |
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負(fù)載 |
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| 5 | g | ② | ||||
動(dòng)態(tài)參數(shù) |
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3dB帶寬 | Bx·p | 500 | Hz |
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*信號(hào)響應(yīng)時(shí)間 | txs·s | 1．6 | ms | ③ | ||||||
*位置噪音 | δXp·n | 0.1 | nm | ④ | ||||||
誤差 |
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*磁滯（峰峰值） | δxp·hyst |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑤ | ||||
*線性度（峰值） | δxp·lin |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑥ | ||||
注意：
*這些參數(shù)由各轉(zhuǎn)換器實(shí)測(cè)并提供。
①、所有的位置命令單位是每微米7個(gè)數(shù)字分辨率。
②、這是Z軸可承受的負(fù)載。
③、這是2%的響應(yīng)時(shí)間，這是伺服系統(tǒng)的閉環(huán)參數(shù)，用戶可以控制，測(cè)試單位是500nm；
④、實(shí)際的位置噪音；
⑤、位移的百分比，意思是位移為1um則磁滯小于1nm。
⑥、誤差為滿量程的百分比。
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