亞納米的分辨率；
線性度可達0.02%；
測量帶寬可調(diào)（50HZ，500Hz或5kHz）；
放大器增益可調(diào)（在不必使用滿量程的情況下）；
可選擇長（“L”）或短（“-S”）測量量程（2pF或10pF電容）；
磁盤驅(qū)動器磁頭測試；
膜/晶圓夾頭對齊；
掃描探針顯微技術；
光腔調(diào)整；
干涉測量；
參數(shù) | 值 | 單位 | 備注 |
靜態(tài)參數(shù) |
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尺寸 | 218x77x34 | mm |
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供電電壓 | ±15±1@120mA | VDC |
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±120~+130@30mA | VDC |
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-32~-27@30mA | VDC | ① | |
傳感器輸出 | -5~+5 | V | ② |
模擬輸入范圍 | -10~+10 | V |
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數(shù)字輸入D/A分辨率 | 14 | Bits |
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納米傳感器動態(tài)參數(shù) |
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比例因子 | 0.1~0.01 | GV-1 | ③ |
噪音水平(-S) | ＜0.3 | ppmHz-1/2rms | ④ |
噪音水平(-L) | ＜0.15 | ppmHz-1/2rms | ④ |
熱漂移 | 5 | ppmK-1Typ | ④ |
預熱時間 | 10 | 分鐘 |
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預熱漂移 | 80 | ppm | ④ |
聚苯乙烯擾 | 10 | ppmV-1 | ④ |
線性度 | ＜0.2 | % | ⑤ |
帶寬 | 50,500,5000±10% | Hz | ⑥ |
高壓放大器的動態(tài)參數(shù)(典型值) |
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輸出電壓(2100) | 0~+120 | V |
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輸出電壓(2100-20) | -20~+120 | V |
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帶寬 | 5 | KHz | ⑦ |
模擬輸入增益 | 6 | V/V | ⑧ |
數(shù)字輸入增益 | 7.3 | mV/bit | ⑧ |
噪音 | 0.2 | mVms | ⑨ |
電流 | 50 | mA |
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注意：
①、 負電源，于2100-20型號中。
②、 量程可調(diào)在內(nèi)降低性能的情況下。
③、 G就是距離的意思，比例因子是通過側(cè)面面板的選擇開關來調(diào)整。
④、 PPM是指每百萬分之一距離變化。
⑤、 線性誤差取決于傳感器安裝精度0.02%的線性誤差是可以實現(xiàn)的。請聯(lián)系真尚有公司洽談詳情。
⑥、 帶寬是通過側(cè)面面板的選擇開關來調(diào)整。
⑦、 典型的，取決于執(zhí)行機構。
⑧、 只限于開環(huán)控制。
⑨、 一般情況。
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