- 主要特點(diǎn)-
低電壓；
尺寸緊湊；
高強(qiáng)度；
內(nèi)部預(yù)裝 - 高拉力；
VAC和UVAC選項(xiàng)；
廣泛應(yīng)用的附件；
-應(yīng)用領(lǐng)域-
顯微鏡； 波束控制； 自定義閉環(huán)系統(tǒng)等
- 技術(shù)規(guī)格-
參數(shù) | 符號(hào) | 值 | 單位 | 備注 | ||||
靜態(tài)參數(shù) |
| |||||||
型號(hào) |
| 15 | 30 | 45 | 75 | 105 |
|
|
材料 |
| 不銹鋼 |
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| ||||
長(zhǎng)度 |
| 30 | 50 | 70 | 110 | 150 | mm |
|
直徑 |
| 10 | mm |
| ||||
線纜長(zhǎng)度 |
| 2000 | mm |
| ||||
*移動(dòng)范圍 | dxp·max | >15 | >30 | >45 | >75 | >105 | um |
|
負(fù)荷 |
| 10 | Kg | ① | ||||
剛度 |
| 50 | 25 | 16 | 10 | 7 | N/um |
|
電容量 |
| 1.8 | 3.6 | 5.4 | 9.0 | 12.6 | uF |
|
動(dòng)態(tài)參數(shù) |
| |||||||
工作溫度 |
| +10~+50 | ℃ |
| ||||
工作電壓 |
| -20~-120 | VDC |
| ||||
儲(chǔ)存溫度 |
| 0~+70 | ℃ |
| ||||
相對(duì)濕度 |
| 5~95（無(wú)冷凝） | % |
| ||||
誤差 |
|
|
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| ||||
*磁滯（峰值） | δxp·hyst | ≤13 | % |
| ||||
*線性度 | δxp·lin | ≤6 | % | ② | ||||
注意：
*這些參數(shù)由各轉(zhuǎn)換器實(shí)測(cè)并提供的。
①、這是MP在Z軸方向能承受的負(fù)載。
②、滿量程的相對(duì)誤差。
- 測(cè)量原理-
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