納米級分辨率;
適用于柔軟和敏感的物體表面測量(鏡面和光滑表面);
堅(jiān)固耐用,使用壽命長;
振動分析;
傳感器可進(jìn)行自動對焦.
對于輪廓測定來說,NLS13自動對焦傳感器是一種非常*的測量解決方案,具有的保真度,可靠的測量結(jié)果,適應(yīng)廣泛的應(yīng)用,包括柔軟或敏感表面。適用于厚膜測量和混合動力汽車,光學(xué),通信,電子工程,電子行業(yè)材料試驗(yàn)等領(lǐng)域;摩擦學(xué),機(jī)械工程(平整度,波紋度,粗糙度)和IC封裝(翹曲,共面,凸塊高度和體積)等。
傳感器 | NLS13納米級位移計 |
量程mm | 1.5 |
分辨率 nm | 10 |
線性度 | ≤ 0.2um |
重復(fù)性nm | ≤ 10 |
測量間隙mm | 2.0 |
光源鹵素?zé)?/span>W | 780nm半導(dǎo)體激光二極管 |
光斑直徑µm | 1.9um |
測量垂直度o | 90±25 |
響應(yīng)Hz | 16~10K |
輸出 | 數(shù)據(jù)接RS232 |
重量g | 探頭約5000,控制器約4000 |
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