Canon Anelva二手物理氣相沉積PVD設(shè)備FC7100于2011年開(kāi)始投入使用,適用于12英寸晶圓。
特點(diǎn):
能夠通過(guò)超高真空共濺射控制薄膜成分。
高精度控制(0.1nm單位)膜厚和優(yōu)異的均勻性(1σ<1%)。
兼容亞32nm節(jié)點(diǎn)或更小的鑲嵌柵形成工藝。
(使用 PCM-PVD 方法進(jìn)行高覆蓋率沉積)。
通過(guò)使用緊湊型陰極降低材料成本。輕松更換材料。
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公司主營(yíng)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)儀器設(shè)備,以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院,美國(guó)安捷倫、美國(guó)熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開(kāi)發(fā)建立、后期運(yùn)營(yíng)管理,形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系,達(dá)到一站式服務(wù),為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營(yíng)產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測(cè)。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
Canon Anelva二手物理氣相沉積PVD設(shè)備FC7100于2011年開(kāi)始投入使用,適用于12英寸晶圓。
能夠通過(guò)超高真空共濺射控制薄膜成分。
高精度控制(0.1nm單位)膜厚和優(yōu)異的均勻性(1σ<1%)。
兼容亞32nm節(jié)點(diǎn)或更小的鑲嵌柵形成工藝。
(使用 PCM-PVD 方法進(jìn)行高覆蓋率沉積)。
通過(guò)使用緊湊型陰極降低材料成本。輕松更換材料。
產(chǎn)品名稱 | 參考價(jià) | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時(shí)間 | |
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