關(guān)鍵詞:熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、
歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路
型號(hào): MEB550S, 產(chǎn)地:歐洲 應(yīng)用:Thermal barriers/紅外波導(dǎo)
8個(gè)坩堝:Au, Pd, Al, Mo, Ni, NiCr, Ti, Ge
樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)、可傾斜,可加載6英寸襯底
配備Load Lock和主腔體
真空系統(tǒng):采用低溫泵和干泵
10kW電子束源
離子槍對(duì)襯底進(jìn)行清洗和刻蝕
全自動(dòng)控制,半自動(dòng)和手動(dòng)可選,支持遠(yuǎn)程維護(hù)
典型用戶:格拉斯哥大學(xué)