關鍵詞:熱障層、紅外波導、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、
歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路
型號: MEB550S, 產地:歐洲 應用:Thermal barriers/紅外波導
8個坩堝:Au, Pd, Al, Mo, Ni, NiCr, Ti, Ge
樣品臺可旋轉、可傾斜,可加載6英寸襯底
配備Load Lock和主腔體
真空系統(tǒng):采用低溫泵和干泵
10kW電子束源
離子槍對襯底進行清洗和刻蝕
全自動控制,半自動和手動可選,支持遠程維護
典型用戶:格拉斯哥大學