上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設(shè)備、光電材料、光學(xué)軟件等產(chǎn)品進口的技術(shù)貿(mào)易服務(wù)型公司，公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系；目前服務(wù)于國內(nèi)從事微電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究所和大學(xué)。主要產(chǎn)品包括：濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設(shè)備、CVD金剛石沉積設(shè)備、激光輔助化學(xué)束沉積設(shè)備，紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產(chǎn)品，光學(xué)設(shè)計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設(shè)計軟件等。
型號：MEB450S， 產(chǎn)地：歐洲， 應(yīng)用：沉積金屬薄膜
蒸鍍腔體：高600mm、寬450mm、深450mm
熱蒸鍍源：6個熱蒸鍍源
樣品臺： 可加載4×60mm襯底
襯底旋轉(zhuǎn)：10 rpm
襯底加熱：熱阻絲加熱可達300℃
采用熱電偶控溫
厚度控制：采用 石英晶振膜厚控制儀
襯底清洗及刻蝕：
配備直流離子槍
Ar、N2氣路用于反應(yīng)離子束刻蝕
刻蝕不均勻性±4% @ 60mm晶圓
離子槍到襯底距離為300mm
控制系統(tǒng)：全自動控制，半自動和手動模式可用
若對我們的設(shè)備感興趣，歡迎聯(lián)系我們！
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
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