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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設(shè)備、光電材料、光學(xué)軟件等產(chǎn)品進(jìn)口的技術(shù)貿(mào)易服務(wù)型公司，公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系；目前服務(wù)于國內(nèi)從事微電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究所和大學(xué)。主要產(chǎn)品包括：濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機(jī)、等離子處理設(shè)備、CVD金剛石沉積設(shè)備、激光輔助化學(xué)束沉積設(shè)備，紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產(chǎn)品，光學(xué)設(shè)計(jì)、激光仿真、BSDF/BRDF測(cè)量儀、電磁場(chǎng)模擬仿真及測(cè)量儀器等模擬設(shè)計(jì)軟件等。
型號(hào)：MEB450S， 產(chǎn)地：歐洲， 應(yīng)用：沉積金屬薄膜
蒸鍍腔體：高600mm、寬450mm、深450mm
熱蒸鍍?cè)矗?個(gè)熱蒸鍍?cè)?/span>
樣品臺(tái)： 可加載4×60mm襯底
襯底旋轉(zhuǎn)：10 rpm
襯底加熱：熱阻絲加熱可達(dá)300℃
采用熱電偶控溫
厚度控制：采用 石英晶振膜厚控制儀
襯底清洗及刻蝕：
配備直流離子槍
Ar、N2氣路用于反應(yīng)離子束刻蝕
刻蝕不均勻性±4% @ 60mm晶圓
離子槍到襯底距離為300mm
控制系統(tǒng)：全自動(dòng)控制，半自動(dòng)和手動(dòng)模式可用
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| 產(chǎn)品名稱 | 參考價(jià) | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時(shí)間 | |
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