關(guān)鍵詞:熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、
歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路
金屬膜、Ni、Pt、Al、Au、Ge、Ti
型號(hào):MEB 400S, 產(chǎn)地:歐洲, 應(yīng)用:沉積金屬薄膜
坩堝:8×12cc, 材料分別是Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, Au金屬
電子槍:10kW
真空系統(tǒng):采用低溫泵+干泵
配備薄膜真空計(jì)、潘寧/皮拉尼真空計(jì)
樣品臺(tái):可接納4英寸襯底
襯底旋轉(zhuǎn):雙星新運(yùn)動(dòng)
膜厚控制儀:沉積速率0.01A/s, 厚度分辨率0.1A
Load Lock可選
控制系統(tǒng):全自動(dòng)控制,半自動(dòng)和手動(dòng)模式可用
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