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  • 金屬薄膜制備專用電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

金屬薄膜制備專用電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2022-06-02
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量99
  • 人氣值875
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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設(shè)備、光電材料、光學(xué)軟件等產(chǎn)品進(jìn)口的技術(shù)貿(mào)易服務(wù)型公司,公司至今已與歐美、日本等國(guó)家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系;目前服務(wù)于國(guó)內(nèi)從事微電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究所和大學(xué)。主要產(chǎn)品包括:濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機(jī)、等離子處理設(shè)備、CVD金剛石沉積設(shè)備、激光輔助化學(xué)束沉積設(shè)備,紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產(chǎn)品,光學(xué)設(shè)計(jì)、激光仿真、BSDF/BRDF測(cè)量?jī)x、電磁場(chǎng)模擬仿真及測(cè)量?jī)x器等模擬設(shè)計(jì)軟件等。

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關(guān)鍵詞:熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路金屬膜、Ni、Pt、Al、Au、Ge、Ti型號(hào):MEB400S
金屬薄膜制備專用電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

 

關(guān)鍵詞:熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、

              歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路

             金屬膜、Ni、Pt、Al、Au、Ge、Ti

 

型號(hào):MEB 400S,  產(chǎn)地:歐洲, 應(yīng)用:沉積金屬薄膜

 

坩堝:8×12cc, 材料分別是Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, Au金屬

 

電子槍:10kW

 

真空系統(tǒng):采用低溫泵+干泵

                  配備薄膜真空計(jì)、潘寧/皮拉尼真空計(jì)

 

樣品臺(tái):可接納4英寸襯底

 

襯底旋轉(zhuǎn):雙星新運(yùn)動(dòng)

 

膜厚控制儀:沉積速率0.01A/s,  厚度分辨率0.1A

 

Load Lock可選

 

控制系統(tǒng):全自動(dòng)控制,半自動(dòng)和手動(dòng)模式可用

        支持多級(jí)用戶權(quán)限設(shè)置和管理
 
        支持設(shè)備遠(yuǎn)程操作、監(jiān)控、診斷和維護(hù)
       
        系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警及定位故障

 

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關(guān)鍵詞:控制系統(tǒng)
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