關(guān)鍵詞:熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、
歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路
用于金屬薄膜沉積、金屬化
6個坩堝分別為:Pd, NiCr, Au, Ge, Ti, Ni
襯底大小為3英寸
主腔體采用擴散泵,LOAD LOCK采用分子泵
采用10kW電子束蒸發(fā)源
配備等離子體清洗襯底
全自動電腦控制、半自動和手動模式可用
支持遠程維護和操作
上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設(shè)備、光電材料、光學(xué)軟件等產(chǎn)品進口的技術(shù)貿(mào)易服務(wù)型公司,公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系;目前服務(wù)于國內(nèi)從事微電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究所和大學(xué)。主要產(chǎn)品包括:濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設(shè)備、CVD金剛石沉積設(shè)備、激光輔助化學(xué)束沉積設(shè)備,紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產(chǎn)品,光學(xué)設(shè)計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設(shè)計軟件等。
關(guān)鍵詞:熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、
歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路
用于金屬薄膜沉積、金屬化
6個坩堝分別為:Pd, NiCr, Au, Ge, Ti, Ni
襯底大小為3英寸
主腔體采用擴散泵,LOAD LOCK采用分子泵
采用10kW電子束蒸發(fā)源
配備等離子體清洗襯底
全自動電腦控制、半自動和手動模式可用
支持遠程維護和操作
產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
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