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  • 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)用于金屬薄膜沉積

電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)用于金屬薄膜沉積

參考價
面議
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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-06-02
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量99
  • 人氣值880
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關(guān)鍵詞:熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路用于金屬薄膜沉積、金屬化6個坩堝分別為:Pd
電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)用于金屬薄膜沉積 產(chǎn)品詳情

 

關(guān)鍵詞:熱障層、紅外波導(dǎo)、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、

              歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路

 

 

 

 

 

 

 

 

 

用于金屬薄膜沉積、金屬化

 

6個坩堝分別為:Pd, NiCr, Au, Ge, Ti, Ni

 

襯底大小為3英寸

 

 

主腔體采用擴散泵,LOAD LOCK采用分子泵

 

采用10kW電子束蒸發(fā)源

 

配備等離子體清洗襯底

 

全自動電腦控制、半自動和手動模式可用

 

支持遠程維護和操作

 

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