關鍵詞:磁控濺射、電子束蒸鍍、超高真空、金屬膜、氧化膜、約瑟夫森結、超導、量子器件、量子比特、
多腔體、Qubit、UHV、鈮基超導、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、sputtering system
Evaporation system、Nb-based superconductor、超導鋁結、Josephson junction
型號:MEB 550 SL 產地:歐洲 應用:沉積幾乎任何金屬及氧化物薄膜。
推薦配置:可以用于沉積幾乎任何金屬及氧化物薄膜,目前主要超導量子實驗室均使用該設備制備超導結(量子比特和約瑟夫森結)和量子器件,可以制備大面積、高度穩(wěn)定性和可重復性超導結。
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