關(guān)鍵詞：多靶磁控濺射、共濺射、Co-sputter、金屬膜、氧化膜、半導(dǎo)體膜、非金屬膜、約瑟夫森結(jié)、
超導(dǎo)、量子器件、量子比特、 Qubit、鈮基超導(dǎo)、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、
sputtering system、Josephson junction
產(chǎn)地：歐洲； 型號：MP700S; 應(yīng)用：超導(dǎo)量子結(jié)制備、薄膜沉積。
磁控濺射鍍膜系統(tǒng)可以沉積各種金屬、半導(dǎo)體、非金屬薄膜，又特別適合用于超導(dǎo)量子結(jié)、約瑟夫森結(jié)等量子器件的制備，例如：超導(dǎo)Nb、NbN、NbTiN等，MP700S磁控濺射系統(tǒng)專門用于超導(dǎo)約瑟夫森結(jié)的制備，其特點(diǎn)如下：
使用該設(shè)備能夠制備高品質(zhì)、重復(fù)性好的約瑟夫森結(jié)，因而深受超導(dǎo)量子器件研究小組的推崇。目前包括：格拉斯哥大學(xué)、法國波爾多大學(xué)、法國科學(xué)研究中心（CNRS）、法國原子能委員會(huì)（CEA）、加拿大滑鐵盧大學(xué)、清華大學(xué)等單位均在使用PLASSYS公司同類設(shè)備。
歡迎聯(lián)系我們索取詳細(xì)資料！
