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儀表網>產品庫>機械設備>制熱設備>電阻爐>1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-HVC
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1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-HVC

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-05
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產品數量185
  • 人氣值1692
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上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質譜儀,粒度儀等分析類設備),德國普發(fā)真空設備,電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。
上海繪吉-德國普發(fā)真空Pfeiffer Vacuum-作為*的真空技術解決方案的供應商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵, 同時還擁有各種旋片泵,干泵,羅茨泵,氦氣質譜檢漏儀,真空規(guī),四級質譜儀等產品以及真空管件和綜合真空系統(tǒng)。 從普發(fā)1958年發(fā)明渦輪分子泵至今, 我們在分析、研發(fā)、鍍膜、太陽能、半導體和其他工業(yè)領域,始終代表著創(chuàng)新的解決方案、高品質、穩(wěn)定可靠的產品和的服務。公司自1890年創(chuàng)立至今百余年,現(xiàn)有將近2300名員工,20多家分公司遍布,并且在德國、法國、羅馬尼亞、韓國設有生產制造基地。
隨著中國綜合國力的提升,產業(yè)結構升級,以及對節(jié)能減排,科研和高精尖制造工藝的強烈需求,對真空技術的需求也在不斷的提升。作為德國 Pfeiffer Vacuum GmbH 的全資子公司,普發(fā)真空技術上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入駐中國上海,標志著普發(fā)真空在中國的業(yè)務已經初具規(guī)模,以及公司對中國持續(xù)增長的信心。公司現(xiàn)坐落于上海市浦東新區(qū)世紀公園附近,并且在江蘇無錫建有 4000m2 的售后服務工廠。
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1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-HVC
1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-HVC 產品詳情

GSL-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,其工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。

技術參數
GSL-1700X 系列管式爐殼體

● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.

● 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

● 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失

● 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上,方便移動

● 儀器上已經安裝高真空法蘭,閥門,高真空機組

爐管

● 材質: 高純氧化鋁陶瓷管

● 一根高純氧化鋁陶瓷管已經安裝在爐子上

● (標配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1000mm Length

● (選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1000mm Length

功率6KW
工作電壓AC 208-240V單相, 50/60Hz
加熱元件8 根1800°C grade MoSi2 heating element
工作溫度

● 工作溫度.: 1650°C

● 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率≤5°C/min
加熱區(qū)長度

● 加熱區(qū)長度: 457 mm (18")

● 恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C)注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區(qū)數據,請與我公司銷售人員聯(lián)系

溫控系統(tǒng)

● 采用PID方式自動控制,并可設置30段升降溫程序

● 控溫精度: ±1°C

● 控溫儀表操作視頻

● 熱電偶: B 型,已經安裝在爐內

真空法蘭

● 一對不銹鋼真空密封法蘭已經安裝

● 法蘭上帶有一機械壓力表

● 兩個精密針閥

● 一個KF-25連接器 和KF-25 轉 KF-40 抽氣接口

● 一個1/4"卡套接頭

外形尺寸550 x 380 x 520mm
高真空機組功率100~110W
工作電壓AC 208-240V單相, 50/60Hz
外形尺寸600(L) x 600(W) x 700(H), mm
殼體

● 殼體尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

● 承載量:600 Lbs on top

● 分子泵控制面板:LCD 數字顯示

● 內裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

控制面板

● 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后,分子泵自動啟動)

● 系統(tǒng)控制旋轉速率:根據腔體內的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉速率

1 1 1 1 1
抽氣速率

● N2 33 L/s

● He 39 L/s (2340L/minute)

● H2 32 L/s

工作范圍1000 mbar to <1E-7 mbar
極限<1E-8 mbar (without any leaking )
MFC 質量流量控制器殼體

● 采用 316不銹鋼制作

● 混氣箱尺寸: Φ80X120mm

● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

● MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據客戶要求定制

1
功率18W
工作電壓AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
質保期一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件
質量認證● CE 認證
● 所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認證
● 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國 TUV 認證或 CAS 認證
    
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