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SAL-3000Plus SAL-3000PlusALD原子層沉積...

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  • 型號SAL-3000Plus
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-01
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限21
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量54
  • 人氣值1309
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凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司由瑞典Hot Disk有限公司,英國THT有限公司共同注資成立的。公司開發(fā)、制造并銷售導(dǎo)熱系數(shù)分析儀、反應(yīng)量熱儀等世界*的*分析儀器,同時是以色列Nanonics原子力顯微鏡AFM/掃描探針電鏡SPM以及AFM+Raman+I(xiàn)R+SEM/SPM一體連用測試技術(shù)。公司在范圍內(nèi)擁有眾多系統(tǒng)用戶,并在英國、美國、德國、日本等二十個國家和地區(qū)設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

瑞典Hot Disk公司主要開發(fā)、制造并銷售基于瞬變平面熱源技術(shù)(TPS)的熱導(dǎo)率、熱擴(kuò)散率和比熱容的測試儀器;英國THT公司是一家專業(yè)開發(fā)制造量熱儀和提供化工領(lǐng)域安全咨詢和產(chǎn)品檢測服務(wù)的公司。

以色列NANONICS IMAGING LTD.是業(yè)界將近場光學(xué)顯微鏡(NSOM)技術(shù)和原子力顯微鏡(AFM)相技術(shù)相結(jié)合的*,NANONICS憑借著實力和品質(zhì),其產(chǎn)品涉足的領(lǐng)域從科研到工業(yè),從生物學(xué)到半導(dǎo)體,從化學(xué)制品到無線電通訊,應(yīng)用范圍極其廣泛。公司新近推出了材料表征連用技術(shù),包括Nanonics系列電鏡(AFM、SPM)與Renishaw拉曼光譜儀、Smith在線紅外技術(shù)和掃描電鏡SEM的組合一體機(jī),具有很高的性價比和競爭力。


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SAL-3000Plus ALD原子層沉積系統(tǒng)

SAL3000Plus是一款可拓展型的ALD原子層沉積系統(tǒng),可通過連接STR2000轉(zhuǎn)移單元,與退火設(shè)備SAN2000Plus,鍍膜設(shè)備,SVE2000Plus蒸鍍設(shè)備,SSP2000Plus/SSP3000Plus磁控濺射設(shè)備搭配;

SAL3000pLUS.pngSAL-3000pus+轉(zhuǎn)移倉.png

SAL-3000Plus SAL3000-Plus+STR2000+SAN2000Plus

性能及特點(diǎn):

1.鍍膜質(zhì)量高

ALD技術(shù)對比.gif

· 膜厚均勻性≤3% @ 100mm

· 對于內(nèi)孔、凹槽與高深寬比結(jié)構(gòu)具有良好的沉積均勻性;

· 膜厚可準(zhǔn)確控制達(dá)一個原子層;

· 大面積制程可達(dá)到無孔洞薄膜(Pin Hole free)

· *的重復(fù)性及穩(wěn)定性

· 材料缺陷密度低

· 可成長非晶型或結(jié)晶薄膜(選擇溫度)

2.兩種成膜方向可選

str-2000+interface.gif

· 可選擇將薄膜沉積在基底上表面和基底下表面,薄膜沉積在基底下表面可降低顆粒附著基底的風(fēng)險。

3. 可通過STR2000與其它Plus系列設(shè)備串聯(lián)

4.最多可搭載6路前驅(qū)體

5.優(yōu)異的真空性能:真空度≤5Pa

6.圖形用戶界面,觸控操作,簡單易用,可存儲30多種鍍膜方案

7.與SAL3000相比,寬度減少了40%

6. 可搭配多種配件:

干式真空泵,臭氧發(fā)生器,尾氣處理裝置,800℃基底加熱器,200℃前驅(qū)體加熱器等,退火設(shè)備等;

SAL3000pLUS配件.gif

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