SAL-3000 SAL-3000系列桌面型ALD原子層沉...-儀表網(wǎng)

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司由瑞典Hot Disk有限公司，英國(guó)THT有限公司共同注資成立的。公司開(kāi)發(fā)、制造并銷(xiāo)售導(dǎo)熱系數(shù)分析儀、反應(yīng)量熱儀等世界*的*分析儀器，同時(shí)是以色列Nanonics原子力顯微鏡AFM/掃描探針電鏡SPM以及AFM＋Raman＋I(xiàn)R＋SEM/SPM一體連用測(cè)試技術(shù)。公司在范圍內(nèi)擁有眾多系統(tǒng)用戶，并在英國(guó)、美國(guó)、德國(guó)、日本等二十個(gè)國(guó)家和地區(qū)設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

瑞典Hot Disk公司主要開(kāi)發(fā)、制造并銷(xiāo)售基于瞬變平面熱源技術(shù)（TPS）的熱導(dǎo)率、熱擴(kuò)散率和比熱容的測(cè)試儀器；英國(guó)THT公司是一家專業(yè)開(kāi)發(fā)制造量熱儀和提供化工領(lǐng)域安全咨詢和產(chǎn)品檢測(cè)服務(wù)的公司。

以色列NANONICS IMAGING LTD.是業(yè)界將近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（NSOM）技術(shù)和原子力顯微鏡（AFM）相技術(shù)相結(jié)合的*，NANONICS憑借著實(shí)力和品質(zhì)，其產(chǎn)品涉足的領(lǐng)域從科研到工業(yè)，從生物學(xué)到半導(dǎo)體，從化學(xué)制品到無(wú)線電通訊，應(yīng)用范圍極其廣泛。公司新近推出了材料表征連用技術(shù)，包括Nanonics系列電鏡（AFM、SPM）與Renishaw拉曼光譜儀、Smith在線紅外技術(shù)和掃描電鏡SEM的組合一體機(jī)，具有很高的性價(jià)比和競(jìng)爭(zhēng)力。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

SAL-3000系列桌面型ALD原子層沉...

SAL-3000系列桌面型ALD原子層沉... 產(chǎn)品詳情

SAL-3000 ALD原子層沉積系統(tǒng)

SAL3000是一款適用于研究型的ALD原子層沉積設(shè)備，該設(shè)備最多可搭載6路前驅(qū)體，適用于4英寸（φ100mm）以下基底材料的鍍膜。該設(shè)備在保持了優(yōu)異的膜厚分布外，還可進(jìn)一步通過(guò)改變鍍膜方向，來(lái)進(jìn)一步提高鍍膜的質(zhì)量。并且該設(shè)備還可搭載互鎖腔體（Load lock Chamber）和手套箱來(lái)沉積需要?dú)夥毡Ｗo(hù)的樣品。

SAL3000+load chamber.jpg

SAL-3000 SAL3000+Load Lock Chamber

SAL-3000型號(hào)參數(shù).gif

性能及特點(diǎn)：

1.鍍膜質(zhì)量高
·膜厚均勻性≤3% @ 100mm
·對(duì)于內(nèi)孔、凹槽與高深寬比結(jié)構(gòu)具有良好的沉積均勻性；
·膜厚可準(zhǔn)確控制達(dá)一個(gè)原子層；
·大面積制程可達(dá)到無(wú)孔洞薄膜（Pin Hole free）
·*的重復(fù)性及穩(wěn)定性
·材料缺陷密度低
·可成長(zhǎng)非晶型或結(jié)晶薄膜（選擇溫度）
2.兩種成膜方向可選
·可選擇將薄膜沉積在基底上表面（SAL-3000D）和基底下表面（SAL-3000U），薄膜沉積在基底下表面可降低顆粒附著基底的風(fēng)險(xiǎn)。
3. 可搭載互鎖腔體（Load lock chamber）和手套箱
4.圖形用戶界面，觸控操作，簡(jiǎn)單易用，可存儲(chǔ)30多種鍍膜方案；
5.主機(jī)與控制機(jī)箱一體化設(shè)計(jì)；
6. 可搭配多種配件：
干式真空泵，臭氧發(fā)生器，尾氣處理裝置，800℃基底加熱器，200℃前驅(qū)體加熱器等，退火設(shè)備等；

配件.gif

關(guān)鍵詞：原子層沉積系統(tǒng) 手套箱真空泵臭氧發(fā)生器加熱器

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
芬蘭Picosun原子層沉積系統(tǒng)	面議	廣州市	廣州納儀科技有限公司	2024-05-12	在線詢價(jià)
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-19	在線詢價(jià)
P-300B 原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-17	在線詢價(jià)
R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-15	在線詢價(jià)
R-200 Advance 原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-13	在線詢價(jià)
大尺寸原子層沉積系統(tǒng) 技術(shù)成熟放心選購(gòu)	面議		北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司	2023-10-03	在線詢價(jià)

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