HORIBA科學儀器事業(yè)部推出了新一代研究級光譜型橢圓偏振光譜儀,它具有的精確度、重復(fù)性、靈敏度,且具備無二的功能特性,是用于表征納米和微米膜層的有力工具。UVISEL 2具有完備的全自動特性,操作簡單、快速,可廣泛應(yīng)用于各類現(xiàn)有及新興領(lǐng)域。 UVISEL 2配備了樣品可視系統(tǒng)(技術(shù)),可用于觀察任何樣品表面。結(jié)合8種尺寸的微光斑,使得光斑可以精確定位于樣品上各種限定尺寸的待測區(qū)域。UVISEL 2集成了小的無色差微光斑技術(shù),光斑尺寸最小可達到35μm,實現(xiàn)微區(qū)測量時仍能覆蓋很大的光譜范圍。 專業(yè)的DeltaPsi2軟件平臺,操作簡單直觀,為薄膜精確分析提供各種優(yōu)化的測量、建模功能。 UVISEL 2是一款性能優(yōu)于其它所有機型的型橢圓偏振光譜儀。它繼承了經(jīng)典UVISEL橢圓偏振光譜儀已被證明的精度、靈敏度性能,而且經(jīng)過重新設(shè)計,性能大幅提升。 橢圓偏振光譜儀 無二的技術(shù),具備*的薄膜表征能力,能提供靈敏度和精度的測量。 原位和在線橢偏儀 薄膜沉積與刻蝕過程的高精度、高速度監(jiān)測和控制。 薄膜的質(zhì)量控制 新技術(shù):薄膜厚度和光學常數(shù)的一鍵式測量! 大面積測量系統(tǒng) 專為顯示裝置產(chǎn)業(yè)設(shè)計的系統(tǒng),能處理第七代顯示襯底。