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  • 嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀

FE-5000/5000S 嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀

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  • 型號FE-5000/5000S
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-09-27
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 產(chǎn)品數(shù)量11
  • 人氣值78
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廣州市固潤光電科技有限公司是一家成立于2011年從事光電子高科技產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)及銷售的,2017年通過,主要面向國內(nèi)外光電子企業(yè)以及國內(nèi)各高校、科研院所提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和專業(yè)的項(xiàng)目服務(wù)。產(chǎn)品種類涉及各種工業(yè)和通信光電子器件,顯示器亮度色度及均勻性測試儀,LED燈、室內(nèi)外照明測試儀器,JUST標(biāo)準(zhǔn)光源、燈箱,射頻測試儀,超快脈沖激光測試儀,半導(dǎo)體生產(chǎn)及檢測設(shè)備,主動消磁設(shè)備,主/被動隔振設(shè)備,太赫茲源,太赫茲光譜儀等。涉及工業(yè)自動化,信息自動化,光電子、光纖通訊、光纖傳感,工業(yè)激光、微電子和雷達(dá)與微波通信等領(lǐng)域。 我司堅持"誠信為本,創(chuàng)新為先"的企業(yè)精神,深化技術(shù)創(chuàng)新,不斷超越,注重團(tuán)隊(duì)建設(shè),努力把公司建設(shè)成為國際的光電子產(chǎn)品提供企業(yè)。 固潤光電以技術(shù)為軸心導(dǎo)向,通過與國內(nèi)外廠商合作,積極開拓光電子領(lǐng)域市場,已經(jīng)取得廣大客戶的充分認(rèn)可。我司有一支以碩士為核心的研發(fā)隊(duì)伍, 引進(jìn)、改造的技術(shù),為國內(nèi)的企業(yè)與科研單位提供國際技術(shù)的“固潤”方案。 自成立以來,我司已取得了多項(xiàng),我司緊緊依靠科技創(chuàng)新、自主研發(fā)、技術(shù)進(jìn)步推動企業(yè)可持續(xù)發(fā)展,不斷提升產(chǎn)品的科技含量、附加值和。我司設(shè)置有專門的產(chǎn)品技術(shù)研究中心,擁有一支高素質(zhì)的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)以及*的儀器設(shè)備,保持對行業(yè)產(chǎn)品的高度敏銳度和觀察力,穩(wěn)步推進(jìn)光電產(chǎn)品的開發(fā)創(chuàng)新,不斷提升企業(yè)的核心競爭力和持續(xù)發(fā)展的能力。 我司將更加重視技術(shù)創(chuàng)新,服務(wù)創(chuàng)新、管理創(chuàng)新,依靠*、規(guī)范經(jīng)營、科學(xué)化管理提高企業(yè)抗風(fēng)險能力,從而進(jìn)一步提升企業(yè)市場核心競爭力,打造固潤新輝煌。
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橢圓偏振法測量當(dāng)線性偏振光照射到樣品時反射光(橢圓偏振)時偏振的變化。 當(dāng)s和p波根據(jù)樣本分別改變其相位和反射幅度時,可以獲得量化偏振變化的幅度比“tanψ”和相位差“cosΔ”。 tanψ,cosΔ稱為“橢圓參數(shù)”,其光譜通過“光譜橢偏儀”進(jìn)行測量。Otsuka FE-5000/5000S膜厚測量儀除了基本的光譜橢圓儀系統(tǒng)外,自動角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還可以針對各種厚度進(jìn)行高精度的膜厚測量。 可拆卸的緩速......
嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 產(chǎn)品詳情

嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 產(chǎn)品描述:

嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 是測量當(dāng)線性偏振光照射到樣品時反射光(橢圓偏振)時偏振的變化。當(dāng)s和p波根據(jù)樣本分別改變其相位和反射幅度時,可以獲得量化偏振變化的幅度比“tanψ”和相位差“cosΔ”。 tanψ,cosΔ稱為“橢圓參數(shù)”,其光譜通過“光譜橢偏儀”進(jìn)行測量。Otsuka FE-5000/5000S膜厚測量儀除了基本的光譜橢圓儀系統(tǒng)外,自動角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還可以針對各種厚度進(jìn)行高精度的膜厚測量。 可拆卸的緩速器和旋轉(zhuǎn)分析儀還拓寬了可供測量的選擇范圍,并提高了測量精度。測量范圍包括:橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ),光學(xué)常數(shù)分析(和:折射率,k:消光系數(shù)),厚度分析。

嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀

產(chǎn)品亮點(diǎn):

  • 橢圓光度法測量可見光和紫外線范圍(250-800nm)
  • 納米級薄膜厚度
  • 使用多通道光譜儀(超過400ch)進(jìn)行快速測量
  • 角度可調(diào)機(jī)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)分析
  • 通過光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和配方注冊功能實(shí)現(xiàn)高度可操作性
  • 使用多層擬合分析進(jìn)行光學(xué)常數(shù)測量,以控制膜厚度和膜性能

應(yīng)用范圍

  • 半導(dǎo)體晶圓(柵氧化薄膜,氮化膜 SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,多晶硅,ZnSe,BPSG,TiN 每種波長下抗蝕劑的光學(xué)常數(shù))
  • 復(fù)合半導(dǎo)體(AlxGa(1-x)As多層膜,非晶硅)
  • FPD(平板顯示器)(定向膜 ITO,MgO用于等離子顯示器)
  • 新材料(DLC(類金剛石),超導(dǎo)薄膜,磁頭薄膜)
  • 光學(xué)薄膜(TiO2,SiO2,多層膜,減反射膜,反射膜)
  • 平版印刷(g射線(436nm),h射線(405nm),i射線(365nm),KrF(248nm)的光學(xué)常數(shù) 每種波長下抗蝕劑的光學(xué)常數(shù))

技術(shù)參數(shù):

  • 測量樣品:反光樣品
  • 樣品尺寸:100x100mm
  • 基本原理:旋轉(zhuǎn)分析儀方法
  • 膜厚范圍:0.1 nm
  • 照射(反射)角度:45~90°
  • 照射(反射)角驅(qū)動方式:自動正弦驅(qū)動
  • 點(diǎn)徑:φ2.0/1.2
  • tanψ精度:< ±0.01
  • cosΔ精度:< ±0.01
  • 可重復(fù)性:< 0.01%
  • 波長范圍:300-800nm/250-800 nm
  • 探測器:多色儀(PDA, CCD)
  • 光源:高穩(wěn)定性氙氣燈
  • 平臺驅(qū)動方式:手動/自動
  • 尺寸:650(W)×400(D)×560(H)mm/1300(W)×900(D)×1750(H)mm
  • 重量:50kg/350kg
  • 軟件分析:最小二乘薄膜分析(反射系數(shù)模型函數(shù),Cauchy色散模型,nk-Cauchy色散模型)
  • 理論分析(體表面分析(n.k.),角度相關(guān)性的同時分析

測量案例:

使用梯度模型進(jìn)行ITO結(jié)構(gòu)分析—應(yīng)用FE0006。ITO(銦錫氧化物)是用于LCD顯示器等平面顯示器的透明電極材料。 ITO的成膜后,通過退火處理(熱處理),可以提高ITO的導(dǎo)電性和色相。 那時,ITO的氧狀態(tài)和結(jié)晶狀態(tài)將發(fā)生變化。 該變化趨于相對于膜厚度逐步獲得斜率變化,并且它不會變成光學(xué)組成均一的單層。 我們想介紹一種使用梯度模型來測量上下表面nk的傾斜度的情況。

嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 一 嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 二

標(biāo)簽:膜厚測試儀
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
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