法國STIL三維表面輪廓測量儀
配置“點”傳感器的MICROMESURE2系統(tǒng)
MICROMESURE2系統(tǒng)，配置CCS-Prima,STIL-DUO傳感器，是非接觸式表面測量的理想工具，包含3D粗糙度，形狀測量和3D微觀形貌。
MICROMESURE2系統(tǒng)，重復利用了STIL非接觸式傳感器在各種應用和領域的性能。
與配套的控制器&采集硬件和軟件一起交付，MICROMESURE2系統(tǒng)是一套整機，啟動后立刻執(zhí)行（指令）。
借助光譜共焦傳感器
- 非接觸式尺寸測量
- 納米和微米分辨
- 白光傳感器（無斑點，大測量范圍）
- 同軸測量（無陰影）
- 鏡面上的高局部斜率（反射式）
- 對環(huán)境光不敏感
- 可測金屬，玻璃，半導體，陶瓷和其他更多材料
- 透明物體的厚度測量方式
- 具有大測量范圍能力（20μm-24mm）
借助高質(zhì)量的掃描系統(tǒng)
- Z軸0.1μm編碼器（系列產(chǎn)品）
- X&YZ軸0.1μm編碼器（可選擇）
- 低震動
- 正交性和平面度校正
- 透明的作業(yè)空間，避免氣流震蕩
配置線傳感器的MICROMESURE2系統(tǒng)
2014年產(chǎn)品：配置了MPLS180線傳感器的MICROMESURE2
4個光學頭可選：Nano view,Micro View,Deepview,Wire view
專用軟件：Line SensorMap
MICROMESURE2系統(tǒng)技術參數(shù)
| STIL 3D輪廓測量儀 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型號 | MIME-3M1R-115 | MIME-3M3R-115 | MIME-3M3R-332 | |||||
| X-Y軸參數(shù) | 行程 | 100mm | 100mm | 300mm | ||||
| 編碼器 | 無 | 有 | 有 | |||||
| 位置精度 | 10μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
| 位置分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | |||||
| 平面度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | TBA | |||||
| 速度 | 20mm/s | 20mm/s | 20mm/s | |||||
| Z軸參數(shù) | 行程 | 50mm | 50mm | 50mm | ||||
| 編碼器 | 無 | 有 | 有 | |||||
| 位置精度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
| 位置分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | |||||
| 平面度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
| 速度 | 5mm/s | 5mm/s | 5mm/s | |||||
| 外形尺寸（L*D*H） | 640*612*606（mm） | 640*612*606（mm） | TBA | |||||
| 重量（kg） | 120 | 120 | 250 | |||||
MICROMESURE2系統(tǒng)表面圖像處理及采集軟件
| 表面圖像控制&采集軟件 | ||
|---|---|---|
| 采集類型 | 輪廓掃描(X,Y,傾斜物) | |
| 表面掃描 | ||
| 點系列采集 | ||
| 重復測量 | ||
| 混合采集序列 | ||
| 視頻圖像（如配置攝像機） | ||
| 掃描參數(shù)設定 | 體積 | |
| 沿每個軸步進 | ||
| 傳感器參數(shù)設定 | 高度模式 | |
| 厚度模式 | ||
| 光筆選擇 | ||
| 平均 | ||
| 雙倍頻率（如提供) | ||
| 掃描類型 | 恒定速度（帶有間隙補償） | |
| 恒定速度（前&后） | ||
| 逐步 | ||
| Z following | ||
| 數(shù)據(jù)存儲 | 文件夾選擇 | |
| 格式選擇(binary,csv) | ||
| 用戶監(jiān)督 | 測量進程 | |
| XY和Z坐標 | ||
| 傳感器狀態(tài) | ||
| 自動程序 | 硬件歸位 | |
| 自動對焦 | ||
| 重定位 | ||
| 檢查 | ||
應用類型：
- 形狀及紋理分析
- 精密機械檢測
- 表面特征分析
- 3D高度和厚度，形貌/輪廓
- 粗糙度測量
- 尺寸測量
應用領域
- 機械（粗糙度，摩擦力，3D計量，腐蝕分析......）
- 玻璃行業(yè)(浮法玻璃在線厚度控制，3D計量......)
- 微電子（粗糙度,3D計量，缺陷分析）
- 光學（粗糙度，3D計量......）
- 鐘表(平面度，粗糙度，厚度......)
- 核燃料工業(yè)(粗糙度，摩擦度，3D計量，腐蝕分析......)
- 航空航天(粗糙度，渦輪形狀）
選擇：
- 后期處理軟件：來自法國圖像技術的MountainsMap
- 用于實際3D測量的X&Y軸的線性編碼器（位置精度=1μm/100mm）
- 錄影機
- 用于更換光筆的簡單刀塔或雙刀塔
- 減震支架
- 1軸和2軸配置
- X&Y軸行程可達300mm定制
- Z軸行程可達100mm定制
計量工件
- 校準槽(深度為10μm)
- 粗糙度標準(Ra=0.8μm)
- 光學平面（直徑=140mm）
- 位移光罩(用于設置錄影機偏移)
