益處
- 測量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
- 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優(yōu)良可重復性
- 皮拉尼聯鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
- 使用壽命長的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調節(jié),減少操作員干預
- RoHS 合規(guī)
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
典型應用
- 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
規(guī)格
類型 | BPG400 | |
---|---|---|
測量范圍(空氣、O2、CO、N2) | 5×10-10 … 1000 | |
精度 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
可重復性 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
除氣 (1) | ||
p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
壓力, | bar (absolute) | 2 |
溫度 | ||
運行(環(huán)境) | °C | 0 … +50 |
貯存 | °C | -20 … +70 |
在法蘭處烘烤,有延伸件 | °C | 150 |
在法蘭處烘烤,無延伸件 | °C | 80 |
移除烘烤電子設備 | °C | 150 |
電源電壓 | +20 … +28 | |
輸出信號模擬 | ||
輸出信號 | V | 0 … +10 |
測量范圍 | V | +0.774 … +10 |
電壓與壓強 | volts per decade | 0.75 |
錯誤信號 | V | 0.3 / 0.5 |
最小負載電阻 | k? | 10 |
接口(數字)(2) | RS232C | |
電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
電纜長度, (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
內部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
重量 KF / CF | g | 285 / 550 |
保護等級 | IP30 | |
Profibus DP | ||
波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
設定點繼電器: 設定點數量 | 2 | |
設定點繼電器: 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
設定點繼電器: 繼電器觸點 | n.o., potential free | |
設定點繼電器: 滯后 | % of reading | 10 |
設定點繼電器: 觸點額定值 | 60 | |
Profibus DP 連接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
BPG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
DeviceNet™ | ||
協議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
數據率開關 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |