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  • BPG400 大氣壓至超高真空真空計 氦質譜檢漏儀

BPG400 大氣壓至超高真空真空計 氦質譜檢漏儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-06-06
  • 廠商性質其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產品數量80
  • 人氣值396
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BPG400 大氣壓至超高真空真空計 氦質譜檢漏儀 產品詳情

益處

  • 測量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
  • 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優(yōu)良可重復性
  • 皮拉尼聯鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
  • 使用壽命長的氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動調節(jié),減少操作員干預
  • RoHS 合規(guī)
  • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

典型應用

  • 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型BPG400
測量范圍(空氣、O2、CO、N2 5×10-10 … 1000
精度 
10-8 … 10-2 毫巴% of reading±15
可重復性 
10-8 … 10-2 毫巴% of reading5
除氣 (1) 
p < 7.2 × 10-6 mbarelectron bombardment, max. 3 min
壓力,bar (absolute)2
溫度 
運行(環(huán)境)°C0 … +50
貯存°C-20 … +70
在法蘭處烘烤,有延伸件°C150
在法蘭處烘烤,無延伸件°C80
移除烘烤電子設備°C150
電源電壓 +20 … +28
輸出信號模擬 
輸出信號V0 … +10
測量范圍V+0.774 … +10
電壓與壓強volts per decade0.75
錯誤信號V0.3 / 0.5
最小負載電阻k?10
接口(數字)(2)RS232C
電氣連接D-Sub, 15-pin, male
電纜長度, (3)m (ft.)100 (330)
暴露于真空的材料Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內部容積 KF / CFcm3 (in.3)24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CFg285 / 550
保護等級IP30
Profibus DP 
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數字功能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器: 設定點數量2
設定點繼電器: 范圍mbar1×10-9 … 100
設定點繼電器: 繼電器觸點n.o., potential free
設定點繼電器: 滯后% of reading10
設定點繼電器: 觸點額定值 60
Profibus DP 連接器D-Sub, 9-pin, female
BPG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™ 
協議DeviceNet™, group 2 slave only
數據率開關kBaud125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)
BPG400 大氣壓至超高真空真空計     
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