益處
- 測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
- 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
- 使用壽命長的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
- 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
- RoHS 合規(guī)
- 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
典型應(yīng)用
- 對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
規(guī)格
| 類型 | BPG400 | |
|---|---|---|
| 測量范圍（空氣、O2、CO、N2） | 5×10-10 … 1000 | |
| 精度 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 可重復(fù)性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 除氣 (1) | ||
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 壓力， | bar (absolute) | 2 |
| 溫度 | ||
| 運(yùn)行（環(huán)境） | °C | 0 … +50 |
| 貯存 | °C | -20 … +70 |
| 在法蘭處烘烤，有延伸件 | °C | 150 |
| 在法蘭處烘烤，無延伸件 | °C | 80 |
| 移除烘烤電子設(shè)備 | °C | 150 |
| 電源電壓 | +20 … +28 | |
| 輸出信號(hào)模擬 | ||
| 輸出信號(hào) | V | 0 … +10 |
| 測量范圍 | V | +0.774 … +10 |
| 電壓與壓強(qiáng) | volts per decade | 0.75 |
| 錯(cuò)誤信號(hào) | V | 0.3 / 0.5 |
| 最小負(fù)載電阻 | k? | 10 |
| 接口（數(shù)字）(2) | RS232C | |
| 電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 電纜長度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 內(nèi)部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 285 / 550 |
| 保護(hù)等級(jí) | IP30 | |
| Profibus DP | ||
| 波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 設(shè)定點(diǎn)繼電器： 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 2 | |
| 設(shè)定點(diǎn)繼電器： 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 設(shè)定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
| 設(shè)定點(diǎn)繼電器： 滯后 | % of reading | 10 |
| 設(shè)定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 | 60 | |
| Profibus DP 連接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| DeviceNet™ | ||
| 協(xié)議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 數(shù)據(jù)率開關(guān) | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
BPG400 大氣壓至超高真空真空計(jì)
