功能
- INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、的速率和厚度測(cè)量分辨率,即使在速率極低的情況下
- Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測(cè)量的精度
- 一個(gè) Cygnus 2 即可同時(shí)、單獨(dú)或以任何組合方式控制最多 6 個(gè)來(lái)源,無(wú)需使用兩個(gè)或三個(gè)控制器
- 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過(guò)程的進(jìn)展?fàn)顩r
- 10 Hz 測(cè)量
- 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
- USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
- 多個(gè)源厚度合計(jì)功能
- 測(cè)量低密度、低速率材料的平均速率(使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積最多 30 秒)
- 速率顯示分辨率可達(dá)0.001?
- 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜
- 無(wú)沉積控制允許持續(xù)控制源,因?yàn)榛梢酝ㄟ^(guò)沉積室不斷循環(huán)
- 6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監(jiān)控
- 可選以太網(wǎng)通信
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
規(guī)格
類型 | Cygnus 2 | |
---|---|---|
測(cè)量性能 | ||
頻率分辨率 | ±0.0035 Hz @ 6 MHz | |
厚度和速率分辨率/測(cè)量 (1) | ±0.00433 ? | |
測(cè)量頻率范圍 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) | |
厚度精度 (2) | 0.5% | |
測(cè)量周期 | 0.10 s | |
多個(gè)測(cè)量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
設(shè)計(jì)功能 | ||
多傳感器測(cè)量 | yes (up to 6 sensors) | |
Auto Z | yes | |
共沉積 | yes (up to 6 sensors) | |
過(guò)程配方和數(shù)據(jù)管理 | ||
材料計(jì)劃 | 6 independent materials | |
USB 存儲(chǔ)器 | yes | |
數(shù)據(jù)記錄 | yes | |
硬件功能 | ||
傳感器 (3) | | |
單 | 6 | |
帶 CrystalTwo® 的雙 | 6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input) | |
CrystalSix® | 6 | |
Crystal 12® | 6 | |
通用 | 6 | |
來(lái)源控制 | | |
來(lái)源數(shù)量 (4) | up to 6 | |
來(lái)源控制電壓 | 0 to +/-10 V, adjustable | |
輸出分辨率 | 15 bits over full range (0 to 10V) | |
坩堝位置 | 64 | |
輸入 / 輸出 | | |
輸入 | 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground | |
輸出 | 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs | |
記錄器輸出 (4) | 0 to +10 V, adjustable | |
邏輯語(yǔ)句 | 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement | |
通信 | | |
標(biāo)準(zhǔn) | RS232 | |
可選 | Ethernet | |
顯示器 | ||
厚度分辨率 | 1 ? for 0 to 9.999 k? 10 ? for 10.00 to 99.99 k? 100 ? for 100.0 to 999.9 k? 1 k? for 1000 to 9999 k? | |
速率分辨率 | 0.001 for 0 to 9.999 ?/s 0.01 for 0 to 99.99 ?/s 0.1 for 100 to 999.9 ?/s | |
操作 | ||
電源要求 | 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz | |
工作溫度 | 0 to 50 C (32 to 122 F) | |
尺寸,不包括安裝件(高 x 寬 x 深) | 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) | |
重量 | 13 lbs (5.9 kg) |
(1) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率 = 6 兆赫茲
(2) 隨過(guò)程變化;數(shù)值表示典型的精度
(3) 每種類型的配置
(4) Cygnus 2 有 6 個(gè) DAC 輸出標(biāo)準(zhǔn),還可選擇再添加 6 個(gè)??蓪?nbsp;12 個(gè)中的任何一個(gè)配置為來(lái)源控制電壓或記錄器輸出,但可同時(shí)控制的來(lái)源數(shù)量為 6