功能
- 提供有單層和多層型號(hào)
- ModeLock 技術(shù)可避免跳模引起的薄膜厚度誤差
- 支持 Crystal 12®、Crystal Six® 和雙傳感器自動(dòng)晶體轉(zhuǎn)換，從而生產(chǎn)力
- XTC/3M 多層型號(hào)最多支持 99 個(gè)過(guò)程、999 層薄膜、32 種薄膜材料、2 個(gè)傳感器和兩種源
- XTC/3S 單層型號(hào)最多支持 9 種薄膜、2 個(gè)傳感器和兩種源
- 易于閱讀的 TFT LCD 圖形顯示器
- 可以為薄膜和過(guò)程分配的描述性名稱(chēng)，以便于檢索
- 提供以太網(wǎng)連接
- 獨(dú)立式（不需要計(jì)算機(jī)）或便于 PC 操作的可選 Windows® 軟件
- 插拔式替換 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）
典型應(yīng)用
- 光學(xué)鍍膜
新聞
XTC/3 前面板已根據(jù) INFICON公司的新標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行重新設(shè)計(jì)。
規(guī)格
| 類(lèi)型 | XTC3/S | XTC3/M | |
|---|---|---|---|
| 頻率分辨率 | ±0.028 Hz @ 6 MHz | ±0.028 Hz @ 6 MHz | |
| 測(cè)量頻率范圍 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
| 測(cè)量周期 | 0.25 seconds | 0.25 seconds | |
| 厚度和速率分辨率/測(cè)量 (1) | ±0.034 ? | ±0.034 ? | |
| 測(cè)量技術(shù) | ModeLock | ModeLock | |
| 過(guò)程數(shù)量 | 1 | 99 | |
| 層數(shù) | 1 | 999 | |
| 材料計(jì)劃（或薄膜）數(shù)量 | 9 | 32 | |
| 傳感器輸入數(shù)量 | 2 | 2 | |
| CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持 | Yes | Yes | |
| 支持 XTAL 2 開(kāi)關(guān) | Yes | Yes | |
| 來(lái)源輸出數(shù)量 | 2 | 2 | |
| 計(jì)算機(jī)通信 | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | |
| RS232 波特率 | 115.2 KBaud | 115.2 KBaud | |
| 自動(dòng)晶體轉(zhuǎn)換 | Yes | Yes | |
| 繼電器數(shù)量 | 12, Not Event Assignable | 12, Event Assignable | |
| 可編程繼電器功能數(shù)量 | 1 | 1 | |
| 每個(gè)繼電器的功能 | 1 | 1 | |
| 繼電器額定電壓 | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | |
| 輸入數(shù)量 | 8 TTL, 24VDC Max | 8 TTL, 24VDC Max | |
| 可編程輸入功能數(shù)量 | 1, Not Event Assignable | 1, Event Assignable | |
| 記錄器輸出數(shù)量 | 1 | 1 | |
| 手動(dòng)電源 / 手持控制器 | Yes | Yes | |
| 排氣管風(fēng)扇 | No Exhaust Fan | No Exhaust Fan | |
| 測(cè)試模式 | Yes | Yes | |
| 閘門(mén)延遲 | Yes | Yes | |
| 二次成型模具 | Yes | Yes | |
| 外殼尺寸 | half rack, 2U high | half rack, 2U high | |
| 速率和厚度顯示分辨率 | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | ||
INFICON XTC/3膜厚儀
