功能
- 雙絲極
- 可現(xiàn)場更換電子倍增器
- 可現(xiàn)場更換陽極、陰極和反射極絲極組件
- 可調(diào)換傳感器和電子元件
- TCP/IP 以太網(wǎng)連接
- 較短的傳感器可降低安裝占地面積
- 九個數(shù)量級的動態(tài)量程
- 模擬掃描和所選峰值的 3 ms 每點數(shù)據(jù)率
- <1.5E-14 Torr 的 MDPP
- 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進(jìn)行雙層包裝
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
規(guī)格
| 類型 | MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | |
|---|---|---|---|---|---|
| 傳感器長度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 質(zhì)量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | |
| 檢測器類型 | FC | EM | FC | EM | |
| 靈敏度 (FC) | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | |
| 靈敏度 (EM) | NA | 500 amps/Torr | NA | 500 amps/Torr | |
| 最小可檢測分壓 | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | |
| 傳感器工作溫度(FC) | 200 °C | NA | 200 °C | NA | |
| 傳感器工作溫度(EM) | NA | 150 °C | NA | 150 °C | |
| 絲極類型選件 | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | |
| 分辨率 (1) | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | |
| 溫度系數(shù) (2) | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | |
| 每點數(shù)據(jù)率 | 3 ms | 3 ms | 3 ms | 3 ms | |
| 零沖擊（位于質(zhì)量 2） | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
| 工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| 烘烤溫度 | 300 °C | 300 °C | 300 °C | 300 °C | |
| 功率輸入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | |
(1) 位于峰值高度的 10%
(2) 時長 8 小時，半小時預(yù)熱時間；僅適用于 FC 模式
INFICON MPS 殘余氣體分析儀
